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              發布時間:2020-11-11 09:32  






              吹淋室不能作為通常收支通道

              吹淋室不能作為通常收支通道,由于這種門常為兩扇聯鎖或主動,一旦出現毛病,十分影響分散,所以通常均在吹淋室設旁通門,作業人員多于5人時有必要設此門。平常作業人員出凈化車間時不應走吹淋室而應走旁通門。 凈化區內各凈化車間的門,思考到保持室內壓力情況的需求,其開設方向要朝向壓力大的房間,由于要靠壓力把門壓緊,這顯然和安全分散的需求相反。為了思考平常凈化和緊迫分散時的兩方面需求,規則凈化區和非凈化區之間的門、凈化區與室外的門作為安全分散門對待,其敞開方向一概朝向分散方向,當然,單設的安全門也是如此。


              影響不同潔凈級別造價的主要指標

              我們知道,影響不同潔凈級別潔凈室造價的主要指標是風量、冷量及耗電量等。在工業潔凈廠房設計中,采用氣流類型主要有單向流及非單向流類型。 非單向流潔凈室廣泛用于電子工業、生物工業和各種工業潔凈室,這類潔凈室的進化空調系統的送回風通常采用頂送側回、頂送頂回等方式,在潔凈生產區的技術夾層或技術夾道內布置送回風管、排風管和和各種公用動力管線等。


              我國使用的0

              我國使用的0.1微米十級潔凈室主要依賴從國外進口。由于高潔凈級別的潔凈室造價十分昂貴,0.1微米十級潔凈室每平方米造價高達1萬美元以上。在大規模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當高的比例,這與集成電路工藝不斷更新,產品更新換代周期越來越快的發展趨勢不相適應,嚴重制約了大規模集成電路技術的發展。美國ASYST公司、德國MW公司發展的使用隔離技術的亞微米生產微環境系統設備和技術在近幾年中得到廣泛采用。該項的潔凈技術在100級潔凈度的潔凈廠房中,采用工藝設備局部使用隔離技術的微環境,把投資比例壓縮到別的微環境,消除了操作者與工藝設備運行的二次污染源產生對集成電路成品率和可靠性的影響作用。


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