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發布時間:2021-08-17 03:47  





1級:主要應用于電子工業,這是目前對凈化工程要求高的環境,集成電路要求的精度要達到亞微米。隨著微電子工業技術領域的突飛猛進,對潔凈室的要求越來越高。及時生產間內的例子直徑僅有1微米,也會使產品壽命受到影響。凈化工程技術的興起不過是上個世紀的事情,但今天凈化技術發揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產品向著好的方向發展,對凈化車間的依賴度也越來越高。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。

布置工藝的流程盡可能短,減少交叉往復,、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室,除配備產品工序要求的用室外,還應配備潔具室、洗衣間、暫存室等,每間用室相互,凈化工程的面積應在保證基本要求前提下,與生產規模相適應。潔凈室中的溫濕度控制。潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。排風系統有一般排風系統、有機氣體排風系統、酸性氣體排風系統、堿性氣體排風系統等,凈化車間設計時,要根據實際情況選擇。
10級:主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。其空氣凈化要求僅次于1級,并且我國半導體技術也在發展之中,在未來對潔凈度的要求更加高。一般潔凈室高度控制在2.60米,對個別較高的設備可在局部加高,而不宜提高潔凈區的高度。凈化工程在設計時,無論是新建還是重新改造的凈化車間,都一定依照國家相關標準、規范進行。

100級:是常用的凈化工程,除了對空氣中的塵埃數有要求,對空氣中細菌的濃度也有明確要求。一般用于醫行業進行無菌制造,例如制造臨床用于植入人體內的物品,藥生產。醫學科學實驗也在此環境中,包括實驗動物飼養環境。設計凈化系統組織的原則是相鄰二級過濾器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級過濾器。也可分四級,增加一級過濾器。設計合理的空間面積應考慮到設備操作、維修的需要。生產區和儲存區應有與生產規模相適應的空間面積,用以安置設備、物料,便于操作和維修。
