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頭部集成了薄膜厚度測量所需功能

通過顯微光譜法測量高i精度絕i對反射率（多層膜厚度，光學常數）

1點1秒高速測量

顯微分光下廣范圍的光學系統（紫外至近紅外）

區域傳感器的安全機制

易于分析向導，初學者也能夠進行光學常數分析

獨立測量頭對應各種inline客制化需求

支持各種自定義

測量項目：

絕i對反射率測量

多層膜解析

光學常數分析（n：折射率，k：消光系數）

大塚電子（蘇州）有限公司主要銷售用于光學特性評價?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產業以及液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示產業以及其相 關材料的光學特性評價?檢查。歡迎新老客戶來電咨詢！

測量示例：

SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測量

半導體晶體管通過控制電流的導通狀態來發送信號，但是為了防止電流泄漏和另一個晶體管的電流流過任意路徑，有必要隔離晶體管，埋入絕緣膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數的絕緣膜，或是作為通過CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精準的工藝控制，有必要測量這些膜厚度。



 

為了確保膜厚儀的安全操作，必須注意以下幾點：　　·始終按照操作手冊的要求操作膜厚儀；　　·不要損壞安全互鎖系統的任何元件，例如微動開關等等；　　·不要對膜厚儀做任何改變。

膜厚測試儀波譜校準 　　不關機狀態下每日必做一次或每次關機3小時以上再次重開機必做，目的讓儀器進行自我補償調整。首先點擊任務欄中的“波譜校準”，然后將波譜校準片放入儀器，將Cu-Ag合金部分移至十字線中間，鐳射聚焦，測量（點擊Go鍵）。待膜厚測試儀器自動完成每一步，紅色STOP鍵會轉變成綠色GO鍵后，將純Ag部分移至十字線中間，鐳射聚焦，測量（點擊Go鍵），完成后出現“波譜校準成功”字樣的對話框時，點擊“確定”即可。