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              梅州Edwards真空分子泵維修技術(shù)選型「潽拓光電」

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              發(fā)布時(shí)間:2021-09-08 17:21  






              潽拓——{精},分子泵

              廣州潽拓,EPX180L 半導(dǎo)體干式真空泵 EPX180L維修保養(yǎng)





              主要特性和優(yōu)勢(shì)

                     占地面積小且重量輕 - 作為可用的 工具上泵之一,EPX 顯著節(jié)省了 占地面積。鋁制構(gòu)造使其重量輕巧,增加了安裝 選項(xiàng)。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節(jié)省了前級(jí)管道和 安裝成本,如果需要也可遠(yuǎn)程使用。

                     受zhuanli保護(hù)的獨(dú)特泵機(jī)構(gòu) - EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級(jí)基準(zhǔn)壓力并可在所有入口壓力下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

                        超清潔機(jī)構(gòu) - 傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤(rùn)滑,這可能成為制程 工具中污染源。EPX 泵沒(méi)有高真空軸承油脂,并且不存在 任何其他的潛在污染源。

              非常可靠 - EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年維修一次,zui大程度地延長(zhǎng)了泵的 使用壽命。

                      運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的噪聲低至 56 dB(A),可在潔凈室內(nèi)實(shí)現(xiàn)低噪聲。


              供應(yīng)二手愛(ài)德華Edwards STP-iXR2206磁懸浮分子泵及維修

                   廣州潽拓光電主要提供Pfeiffer(普發(fā)), Leybold(萊寶),Alcatel(阿爾卡特) ,Edwards(愛(ài)德華),Varia(瓦里安),Seiko Seik(精工),Shimadzu(島津),Agilen(安捷倫),Osak(大阪),,ULVAC(愛(ài)發(fā)科)等的真空渦輪分子泵,復(fù)合分子泵,磁懸浮分子泵,分子泵機(jī)組,分子泵電源。


                  廣州潽拓光電科技有限公司可提供24小時(shí)快速維修保養(yǎng)技術(shù)服務(wù),歡迎咨詢聯(lián)系。




              【廣州現(xiàn)貨】Edwards愛(ài)德華渦輪分子泵nEXT240D ,二手分子泵維修保養(yǎng)


              入口法蘭                  DN100ISO-K,DN100CF

              出口法蘭                  DN25NW

              標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度              60000 rpm

              待機(jī)旋轉(zhuǎn)速度              可在 33000 至 60000 rpm 之間變化(默認(rèn)為 42000 rpm)

              推薦控制器                TIC200 分子泵和儀器控制器



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