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發布時間:2020-10-31 05:26  





真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。
真空鍍膜機工作的環境要求:
真空鍍膜設備要在真空條件下工作,因此該設備要滿足真空對環境的要求。真空對環境的要求,一般包括真空設備對所處實驗室(或車間)的溫度、空氣中的微粒等周圍環境的要求,和對處于真空狀態或真空中的零件或表面要求兩個方面。
工藝特點
(1)廣泛應用于金屬涂層、陶瓷涂層、無機涂層材料等。
(2)在產量方面,從單件到大批量皆可。
(3)有質量優勢,沉積溫度低,薄膜成份易控,膜厚與淀積時間成正比,均勻性,重復性好,臺階覆蓋性優良。
(4)工具涂層的生產效率不如PVD,具體取決于特定技術要求和輔助工藝。
4、適用材料
化學氣相沉積曾是真空技術廣泛用于陶瓷沉積的一種技術,特別是對工具涂層更是這樣。
20世界80年代早期隨著等離子體輔助PVD工藝的顯露,CVD在工具方面的應用衰落了。但由于這種工藝具有非常好的滲入特性,其在CVI、ALE等領域的工藝中有著很好的應用前景,主要用于金屬涂層、陶瓷涂層、無機涂層材料。
PCVD的工藝裝置由沉積室、反應物輸送系統、放電電源、真空系統及檢測系統組成。氣源需用氣體凈化器除往水分和其它雜質,經調節裝置得到所需要的流量,再與源物質同時被送進沉積室,在一定溫度和等離子體等條件下,得到所需的產物,并沉積在工件或基片表面。所以,PCVD工藝既包括等離子體物理過程,又包括等離子體化學反應過程。