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一般三坐標校準保養過程主要包括以下幾部分：

1、檢查電腦和有關備份文件

2、清理三坐標導軌

3、檢查外罩

4、檢查所有的氣路系統，更換老化的氣管

5、檢查氣體過濾機構，并對之進行基本保養和維護

6、檢查z軸安全保護裝置，檢查氣動平衡機構

7、檢查和清洗氣浮軸承

8、檢查調整電氣和機械行程開關

9、檢查和調整傳動機構，并做常規保養

10、檢查和調整測量機水平

11、檢查和調整三坐標橫梁與xY工作平面的平行

12、建議用激光干涉儀檢測和補償測量機各軸誤差

三坐標測量機如何合理選擇測針

（1）測球的選擇。優先選擇球徑較大的測針，測球直徑大就會減小被測表面紋路粗糙對精度造成的影響，測球直徑越大，圓度就越好，測桿就越粗，測力變形也就越小，其曲面半徑就大一些，接觸變形就會更小，球徑與測針桿之差也就越大，在測量工件時碰到測桿的機率就比小球徑的測針要小得多。

（2）連接點的選擇。由于測針與加長桿連接在一起時會引入了微觀彎曲和變形點，因此在配置測針時應該盡量減少連接點，盡可能減少接長桿的連接數目以減小累積誤差。

三坐標控制系統的參數調整

快速響應性及調速范圍

（1）快速響應性有兩方面的含義，一是指動態響應過程中，輸出量跟隨輸入指令信號變化的迅速程度，常由系統的上升時間來表現，它主要取決于阻尼比，阻尼比小則響應快，但阻尼比太小，會導致大超調量增大和調整時間加長，使系統相對穩定性下降。二是指動態響應過程結束的迅速程度，用系統的調整時間來描述，并取決于系統的阻尼比和無阻尼固有頻率，當阻尼比一定時，提高固有頻率值可以縮短相應過程的持續時間。