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1.石墨紙的易加工性：石墨紙可以模切制作成不同大小、形狀及厚度，可以提供模切平面板，厚度可以從0.05至1.5m。

2.石墨紙的耐高溫性：石墨紙使用溫度高可達400℃，較低可低于-40℃。

3.石墨紙的高導熱性：石墨紙的平面內熱傳導率大可以達到1500W/mK，熱阻比鋁低40%，比銅低20%。

4.石墨紙的靈活性：石墨紙很容易與金屬、絕緣層或者雙面膠制成層板，增加設計靈活性，可以在背后有粘合劑。

5.石墨紙的輕薄性：石墨紙比同樣尺寸的鋁要輕30%，比銅要輕80%。

6.石墨紙的易用性：石墨散熱片能平滑貼附在任何平面和彎曲的表面。

石墨舟推舟系統：石墨舟推舟系統采用軟著陸的方式，即將石墨舟放到反應管內部后，石墨舟推舟機構將退出，自動門關上。載片舟是經特殊設計，在X軸、Y軸、Z軸三個方向可微調，再經精加工而成。它直接影響到電場的分布、等離子的產生、氣流的走向、膜的品質。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結構有關，所以推舟系統是本設備的核心部件。 管式PECVD系統：即使用像擴散爐管一樣的石英管作為沉積腔室，使用電阻爐作為加熱體，將一個可以放置多片硅片的石墨舟插進石英管中進行沉積。

真空爐發熱元器件采用石墨材料來做發熱管是好的材料選擇，首先石墨有良好的導電性，同等條件下，石墨的導電性是銅的導電性的3倍，而石墨在高溫下，其導電性能不會隨著溫度的上升而減弱，相反還會上升。石墨可以耐到2000多度的高溫，而銅只能耐到800度左右，現在的發熱材料鎢絲也就只能耐到1100度的高溫，所以在一些高溫爐的發熱材料的先擇中，選用石墨是好的一種發熱材料。再有石墨具有良好的熱膨脹系數，真空爐為了提升效率，一般采用液態氮作為冷卻劑，一般情況下是在1300度以上的溫度下，10分鐘冷卻到常溫，一般的材料在這樣的冷熱沖擊下，都不能夠完整的存在，除了石墨。