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              發(fā)布時間:2020-08-25 12:11  









              十萬級凈化車間標(biāo)準(zhǔn):

              1.塵粒大容許數(shù)(每立方米);

              2.大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得逾越3500000個,大或等于5微米的粒子數(shù)不得逾越20000個;

              3.微生物大容許數(shù);

              4.浮游菌數(shù)不得逾越500個每立方米;

              5.沉隆菌數(shù)不得逾越10個每培養(yǎng)皿。

              6.壓差:一樣潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致,對于不一樣潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa,潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。




              3、車間環(huán)境監(jiān)測方法

               溫度、濕度的監(jiān)測方法。凈化車間溫度、濕度的監(jiān)測需要由生產(chǎn)操作員執(zhí)行,每天檢查2次,并且要監(jiān)測車間的每個區(qū)域。監(jiān)測時,要確保凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)正常運(yùn)行30分鐘以上。如果在監(jiān)測過程中發(fā)現(xiàn)溫度、濕度超過標(biāo)準(zhǔn),要及時查明原因并進(jìn)行調(diào)整。

                第二,壓差的監(jiān)測方法。凈化車間壓差的監(jiān)測同樣需要由生產(chǎn)操作員執(zhí)行,每天檢查2次,并且需要做到動態(tài)監(jiān)測。另外,壓差的監(jiān)測同樣要保證車間空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行30分鐘后進(jìn)行。在進(jìn)行壓差監(jiān)測時需要注意:測試時應(yīng)先關(guān)閉車間所有的門;2、為防止交叉污染,應(yīng)分別設(shè)置人員通道及物料運(yùn)輸通道,人員通道應(yīng)按潔凈室通道要求嚴(yán)格執(zhí)行,各通道應(yīng)裝有空氣幕(即風(fēng)幕)或雙向彈簧門及電子滅蠅(蚊)器等防蟲設(shè)施。監(jiān)測期間任何人不得穿越車間;監(jiān)測時要等到微壓表示數(shù)穩(wěn)定后再讀數(shù)。


              2、對溫濕度有嚴(yán)格要求

                在電子生產(chǎn)中,過高或者過低的溫濕度都會對產(chǎn)品造成惡劣影響。例如;濕度過大,會導(dǎo)致電子元器件漏擊穿、材料老化;濕度過低又會導(dǎo)致塑料、絕緣材料干燥收縮、變形甚至龜裂。溫度過高會導(dǎo)致元器件膨脹,導(dǎo)致尺寸變化、位置偏移、機(jī)構(gòu)變形,影響產(chǎn)品質(zhì)量。

                3、對靜電有嚴(yán)格要求

                在微電子器件生產(chǎn)過程中,各種因素產(chǎn)生的靜電電壓,往往會超過電子器件對靜電的靈敏度范圍,導(dǎo)致電子設(shè)備出現(xiàn)故障,損壞設(shè)備內(nèi)部各元器件,引起設(shè)備誤動。靜電還會吸塵,容易積蓄灰塵,導(dǎo)致設(shè)備通風(fēng)散熱受到很大影響,導(dǎo)致機(jī)械零件出現(xiàn)嚴(yán)重磨損,從而影響設(shè)備的使用壽命。凈化無塵車間的潔凈工作臺的構(gòu)造要求:箱體,用熱扎薄鋼板與骨架氣焊易變形,可采用冷軋薄板折邊搭接,大電流電焊,內(nèi)表面需粘貼消聲材料,至大尺寸應(yīng)以通過一般房門為宜。


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