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Parylene氣相沉積涂敷工藝

　 在微電子領(lǐng)域，近些年P(guān)arylene應(yīng)用發(fā)展較快，真空氣相沉積制備的Parylene不僅可制精細(xì)尺寸的涂層，而且該涂層可用微電子的加工工藝進(jìn)行刻蝕加工圖形。它除了作為微電子器件鈍化材料、引線加固封裝材料外，在微米以下超大規(guī)模集成電路制作中,還作為一種低介電常數(shù)材料用作集成電路的介電材料,特別是氟代Parylene，更被國(guó)外集成電路研究者所青睞，用作多層集成超大規(guī)模集成電路的層間絕緣介質(zhì)。 　　 　　Parylene氣相沉積涂敷工藝涂敷時(shí)，在工作上有很強(qiáng)的滲透性，能滲透到SMT貼片工件的底部和工作表面疏松的毛細(xì)孔中，真正形成完全敷形，均勻一致的防護(hù)涂層。Parylene氣相沉積涂敷工藝沒有溶劑、助劑，即使在0.1微米厚也沒有，氣態(tài)小分子在工作表面直接聚合成固態(tài)的涂層薄膜，沒有通常涂層的固化過程和固化引起的收縮應(yīng)力，對(duì)工件能進(jìn)行表面加固，但不會(huì)引起傷害，也沒有因表面張力而引起的涂層彎月面狀不均勻。

派瑞林材料核心的優(yōu)勢(shì)是什么？

那還得從機(jī)理來(lái)說，派瑞林有機(jī)涂層是通過活性單體氣相沉積聚合制備的，單體的氣相沉積與涂層的形成是同時(shí)進(jìn)行，沒有中間的液體過渡態(tài)。因此，正如其開發(fā)公司美國(guó)Union Carbide Co.宣傳的一般，派瑞林涂層擁有0.1-100微米的超薄均勻的涂覆能力和有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性，是當(dāng)代有效的防潮、防霉、防腐、防鹽霧涂層材料。

        近年來(lái)在傳感器表面鍍膜parylene已經(jīng)成為一種趨勢(shì)，經(jīng)parylene鍍膜防護(hù)的傳感器包括汽車傳感器、腐蝕環(huán)境用傳感器、生物醫(yī)學(xué)傳感器、聲學(xué)傳感器、生物醫(yī)學(xué)電極和植入傳感器等等，Parylene對(duì)傳感器的保護(hù)除了絕緣防護(hù)外，更多是用做惡劣環(huán)境防護(hù)材料。