高純供氣系統報價常用指南

大宗特氣供氣系統介紹

大宗特氣供氣系統主要針對大規模量產的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大規模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產線（氣體種類包括NH3），發光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括4、3、NF3）、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產線（氣體種類包括HCL）等行業。試驗室供氣現狀目前我們可以用采用高壓氣瓶、液體杜瓦瓶、集中供氣系統完成上述工作。它們的投資規模巨大，采用1先進的工藝制程設備，用氣需求量大，對穩定和不間斷供應、純度控制和安全生產提出嚴格的要求。

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試驗室供氣需求

目前大多數試驗室中的各種分析儀器如氣相色譜儀、氣相色譜質譜儀、液相色譜質譜儀、原子吸收分光光度計、原子熒光光度計、等離子發射光譜儀、電感耦合等離子質譜儀等都需要連續使用高純載氣和燃氣，因此試驗室的安全、連續、穩定運行需要我們考慮如何將這些氣體供到各試驗室中放置的分析儀器。③可燃氣體的報警裝置應與相應的事故排風裝置設電氣連鎖，當空氣中的可燃氣體濃度達到規定值時，事故排風裝置自動開啟，同時向潔凈廠房的消防安全值班室發出報警信號。

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特種氣體使用安全

首先,應對特氣的危害性進行分析,通過本質安全設計,消除安全隱患。氣體管路需要有安全壓力釋放閥門、壓力調節閥門、壓力表來指示氣體壓力。根據行業規范,對特氣房選址、安全間距、防火分區、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設計應進行保壓和氦測漏,確保系統密閉性。鋼瓶和管道閥門應選用隔膜或波紋管密封閥門。管道系統應采用焊接系統,機械接頭均應置于抽風罩內。排放氣體應進行安全處理。氣體輸送設備具有緊急切斷功能。操作應遵循標準操作規程。

其次,采用監測手段,預防事故發生。檢漏靈敏度：也叫有效靈敏度，指檢漏儀器在最1佳工作狀態下能檢出的最1小漏率。設置氣體泄漏偵測器,監控氣體泄漏。可燃性氣體應設置高溫或火焰偵測器。危險氣體應設置過流開關。特氣系統氣柜應進行負壓監測,防止抽風系統的失效。偵測系統應與報警和緊急切斷連鎖。系統還應進行遠程監控。監控系統應設置不間斷電源。