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發布時間:2020-11-03 05:06  

實際曝光bai能量需根據干膜種類、厚度du或油墨種類/厚度/烘烤時間確定,正常線路曝光使zhi用能量40 -- 120mj/cm2,油墨曝光能dao量150-500mJ/cm2,具體以曝光尺為準;線路曝光尺5 --8格,油墨的曝光尺做到9--13格。
曝光時必須抽真空充分,以免曝光不良,一般要求650mmHg以上真空度;
顯影時,顯影點控制在50 --70%以內,壓力1.5--2.0kg/cm2。
曝光過度會導致顯影不凈;曝光能量不足會導致顯影過度。
膠片上被極亮度光線照射的區域,在顯影時。其上幾乎所有的鹵化銀晶體都將轉化成黑色的金屬銀,這些區域在底片上是黑色的。
膠片上被中等亮度光線照射的區域,在顯影時,其上絕大多數(并非全部)鹵化銀晶體將會轉化成黑色的金屬銀,這些區域在底片上是暗灰色的。
膠片上被很弱光線照射的區域,在顯影時,其上只有少量鹵化銀晶體轉化成黑色的金屬銀,這些區域在底片上是淺灰色的。

正膠顯影:正性光刻i膠的曝光區的光刻膠在顯影液中溶解,在光刻膠上形成三維圖形。
負膠顯影:在負性光刻膠的非曝光區的光刻膠在顯影液中溶解,在光刻膠上形成三維圖形。
正膠具有很好的對比度,所以生成的圖形具有良好的分辨率,其他特性如,臺階覆蓋好、對比度好;粘附性差、抗刻蝕能力差、高成本。
負膠的特性為,具有良好的粘附能力和阻擋作用、感光速度快;顯影時發生變形和膨脹,所以只能用于2μm的分辨率。