真空腔體定制公司咨詢客服「沈陽鵬程」

長方形一體成型腔室

超高真空(UHV)是一門精密技術的藝術，各種鍍膜、檢測分析、量測、及其他實驗皆可根據需求整合在一個或多個的超高真空(UHV)腔體(箱體)，或以超高真空傳輸系統進行鏈接，Htc日揚真空在超高真空(UHV)腔體(箱體)制作擁有豐富經驗及技術。我們根據不同的實驗需求對超高真空(UHV)腔體(箱體)進行精密的設計，能滿足配合客戶實驗上的各種質量及性能要求。

1. 腔體常規材質：不銹鋼304，可定制不銹鋼316、316L腔體；

2. 腔體可根據需求設有快開進樣門，鉸鏈機構，移動靈活，快開門密封件材質采用氟橡膠；

3. 法蘭接口、腔體大小根據客戶需求定制；

4. 腔室內外徹底超聲波清洗，表面清潔；

5. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;

6. 配合適的真空系統，真空度可進入10-6Pa；

7. 供貨周期：確認方案后5到6周；

以下是沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您一起分享的內容，沈陽鵬程真空技術有限責任公司專業生產長方形一體成型腔室產品，歡迎新老客戶蒞臨。

真空腔體的焊接工藝

鋁合金真空腔體密封水道焊接，有其特別的重要性。鋁合金焊接本身就因為其特殊的物理性能，容易出現氣孔，裂紋等缺陷。鋁合金真空腔密封水道的焊接更加增添了焊接的難度，鋁合金從固態轉變為液態時，無明顯的顏色變化，所以不易判斷母材溫度，焊接預熱溫度過低，起弧困難，焊接預熱過高，影響母材組織性能，因此焊接預熱溫度，焊接速度的控制，都有很高的要求。另外，此零件焊接缺陷及其敏感，任何焊接不連續缺陷都是不允許的，焊后機加表面仍不允許出現氣孔等缺陷，精加后先對零件進行氦氣泄漏檢測，檢測要求氦測儀保持在1×10-9ATM CC/MEC以上，不漏；氦測后水壓測試，水壓保持120PISG，要求保壓1h不漏，因此，鋁合金水道蓋板與真空腔體水道進行焊接的焊接難度較大，因此焊接工藝是非常重要的。

真空腔體烘烤注意事項

真空腔體烘烤時的真空度變化結果，烘烤采用纏繞加熱帶的方式。當真空度達到約10-3 Pa時，開始給加熱帶逐漸通電加熱，保持腔體在150℃下進行長時間烘烤。烘烤過程中關閉離子泵，同時也給離子泵通電進行加熱烘烤，這時的真空腔體只靠分子泵和前級泵來排氣。隨著腔體溫度的升高，腔體內表面吸附的水蒸氣等氣體分子大量放出，真空度會迅速惡化。氣體的放出量隨著烘烤時間的延長而逐漸減少，因此真空度也逐步好轉。停止烘烤時，切斷加熱帶和離子泵的烘烤電源，然后趁腔體仍處在高溫的狀態下對鈦升華泵進行除氣處理。鈦升華泵的除氣處理是指給Ti絲通電加熱，但又控制溫度在Ti升華溫度之下的操作。鈦升華泵除氣處理的目的是清除吸附在Ti絲表面的氣體分子以及其他可能的污染物，以確保鈦升華泵的正常工作。充分完成鈦升華泵的除氣處理之后，啟動離子泵和鈦升華泵，加大真空排氣的力度。隨著排氣力度的增大和由于腔體溫度降低而放出氣體的減少，系統的真空度會迅速好轉。

新完成的腔體一次烘烤時，一般需要一周時間，重復烘烤后單獨的烘烤時間可以適當減少。為了更準確地測量真空度，停止烘烤后也應該對真空計進行除氣處理。如果真空泵能力充分而且烘烤時間充足的話，烘烤后真空度可提升幾個數量級。

真空腔體中抽氣管道的設計原則

為一個工藝選擇真空泵時，工藝室和泵之間的抽氣管道可能和泵的選擇一樣重要。要使腔體抽氣速率達到大，需要筆直的抽氣管道(長度短)并使用直徑盡可能大的管道。

看起來似乎很簡單，但是這里有許多因素需要考慮。實際上，如果我們從物理學角度考慮，就可以明確哪些是關鍵因素。真空腔體

在穩定狀態的條件下，如果抽氣管道內沒有氣源(泄漏)或氣體減少(冷凝)，抽氣管道任何截面的質量流量必須相同。簡單而言，進入工藝室的氣體必須從泵出來。

已知氣體摩爾流量為M(公斤/摩爾)、抽氣速率為S(立方米/秒)、壓力為P(帕)、溫度為T(開爾文)，則質量流量計算如下：

質量流量(公斤/秒)=(M*P*S)/(Ro*T)

Ro=通用氣體常數

對于大多數抽氣系統而言，氣體溫度(T)在抽氣管道中不會顯著減少，而且可以合理地假定為恒定的。

在此情況下，抽氣管道任何截面(P*S)的乘積(稱為通量)相同。真空腔體

由于抽氣管道的壓力差是氣體流動的推動力，可見壓力(P)必須在工藝室中為高值，在泵入口為低值。

由于我們假定通量恒定，可見抽氣速率(S)在工藝室為小值，在泵入口為大值(等于泵速)。