一款用于高潔凈真空位移臺運動平臺的10-3Pa真空步進電機

一款用于高潔凈真空位移臺運動平臺的10-3Pa真空步進電機

真空電機系列產品根據客戶需求，不同的型號可適用真空度優于10-7PA的環境，溫度下限-196℃，溫度上限+300℃。另外，部分型號還具有極強的抗輻射能力，耐輻射能力達107GY。同時電機還可擴展抗沖擊、耐輻射、耐鹽霧、抗霉菌等性能特性。

* 環境溫度從 -196℃ (-320.8℉) to +200℃ (+392℉)
* 真空度 10-7Pa (10-9mbar)
* 不銹鋼外殼
* 特殊軸承
* 可定制耐輻射、抗霉菌、耐沖擊、出軸形式等特殊要求。
綜合設計，可靠易用

產品應用

 高潔凈度的使用環境也是可以選用真空步進電機。特別的材料選擇，完善的后端處理工藝使其在高潔凈度的環境中也可表現出色。

絲桿模組滑臺高溫低溫真空模組

型號：VC60、VC90、VC120
行程：50-800（接受定制）
導程：2-35
重復定位精度：±0.05mm
蕞高轉速：1000rpm

真空模組，可在10-7PA的真空環境下運行，耐溫達200℃，真空模組的設計首要考慮機構和材料。此系列產品大部分組件采用不銹鋼加工或熱膨脹系數相當的并且出氣率低的材料。此系列產品主要應用于真空室。高溫室，高潔凈度環境。