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金剛石線切割設備

金剛石線切割設備成為研究和發展的主流趨勢，本文介紹國外硅片切割設備研究的新進展以及國內發展狀況，并介紹筆者參與研制的金剛石環形線鋸機的功能、特點和設計心得體會及金剛石單線和環線切割機應用前景展望。

目前，硬脆性材料，如單晶硅、多晶硅、寶石、玻璃、陶瓷等，具有優良、穩定的物理和化學性能(如抗腐蝕性、電絕緣性,耐磨損性等)，在電子、光學及其它領域得到廣泛應用、，特別是單晶硅、多晶硅、陶瓷材料被廣泛用于太陽能光伏產業、半導體、真空電鍍等高精端產業中。砂漿切割設備改造為金剛線切割設備的優點是，投資小，每臺設備的改造費用約60萬元，可有效利用現有的設備，避免原有設備的閑置與浪費。伴隨半導體、光伏材料技術的發展，需求量不斷增加，切割加工量大幅增長，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工難度較大。

線切割設備

切割液 

金剛線切割設備使用的切割液主要作用是冷卻，所以主要采取冷卻水或油基冷卻。電子科大,川大,交大,瑞仕萊斯等科研院校,從微觀分子結構入手,從本質上完善表面處理的原理和工業應用工藝的開發環形金剛石線鋸機在磁性材料的切割方面有著絕極大的優勢，切割NeFeB,截面63*36mm用時6分鐘，進給速度5mm/min。使用水做切割液可以混合部分粘合劑，減輕清洗工序工作強度；另一個作用是切損硅料容易回收。油基冷卻主要是乙二醇做切割液，原理上乙二醇基的切割方法也有助于硅料的回收，但是需要相對復雜的化學方法處理，提高了回收成本。

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精密切割機

金剛石線切割機的選擇：

當切割樣品較小，切割深度較小時通常可選用小型金剛石線切割機。

市場上有專為材料研究人員而設計，用于脆性材料樣品的精密切割機。可用于各種不同硬度材料的切割，特別是適用于脆性、易解理的晶體切割；操作簡便，加工質量優良；設備小巧，無需占用大面積位置。

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