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              天津生物制藥潔凈車間工程施工給您好的建議「子潤凈化工程」

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              發布時間:2021-07-20 11:14  






              潔凈技術方向發展空氣分子污染

              潔凈技術方向發展 空氣分子污染(Airborne Molecular Contaminants,AMC)作為IC工廠所關心的問題于20年前由日本人提出,近年來,世界IC技術發展迅速,IC芯片日益微型化。AMC對當前的IC生產其潛在的污染比粒子污染要廣泛多,粒子污染控制只需要確定粒徑及個數,但對AMC控制而言,除了受芯片線寬的縮小而變化外,并受工藝、工藝設備、工藝材料及傳送系統等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子殘余對下一工序往往可能就是污染物。因此,IC生產過程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環境中,AMC已成為嚴重影響成品率的重要問題,AMC分子控制技術成為潔凈工程設計與施工建設的主流趨勢。目前,國內的潔凈工程企業中已經開始從事此方向的研究,在該領域比較的企業有亞翔集成,在分子凈化技術方面該公司已經走在了同行業的前列,而中國電子工程設計院則在防微震方面。


              潔凈實驗室的設計規范

              潔凈實驗室的設計規范 潔凈室門窗、墻壁、頂棚等的設計應符合下列規定: 1.潔凈室門窗、墻壁、頂棚、地(樓)面及施工縫隙均應采取可靠的密封措施。 2.當采用輕質構造頂棚做技術夾層時,夾層內宜設檢修通道。 3.潔凈室窗宜與內墻面齊平,不宜設窗臺。 潔凈室內的色彩宜淡雅柔和。室內頂棚和墻面表面材料的光反射系數為0.6—0.8,地面表面材料的光反射系數宜為0.15—0.35. 潔凈度等級嚴于8級的潔凈室的墻板和頂棚宜采用輕質壁板。 室內裝修材料的燃燒性能必須符合現行國家標準《建筑內部裝修設計防火規范》GM50222的有關規定。裝修材料的煙密度等級不應大于50,材料的煙密度等級試驗符合現行國家標準《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T8627的有關規定。


              無窗潔凈室的照明方式有哪些?

              潔凈室的照度控制 由于潔凈室內的工作內容大都有精細的要求,而且又都是密閉性房屋,所以對照明一向有很高的要求。這里有必要先說明一下無窗潔凈室的照明方式: (1)一般照明 它指不考慮特殊的局部需要,為照亮整個被照面積而設置的照明。 (2)局部照明 這是指為增加某一地點(如工作點)的照度而設置的照明。但在室內照明由一般不單獨使用局部照明。 (3)混合照明 這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《潔凈廠房設計規范》應占總照度的10%—15%,但不低干150LX。 單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。 國外潔凈室的強度要求極高,例如美國關于潔凈室的幾個標準的要求是. 100級: 1080-16001x 10000級: >lOOOlx 100000級: >1000LX 人工光300lx有較好的效果,當工件精細程度更高時,500x也是允許的。對于要紅燈照明的地方,如電子行業的光刻車間,其照度一般為25—501x), 用天然光時可允許更高的照度,因而對工作是有利的,所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,這也是為了節能而出現的一種動向。


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