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發布時間:2020-08-16 11:23  





高純氣體管路的設計要點:
1.對于不同特性的氣體,要規劃獨立的供應區域,一般分為三個區:腐蝕性/毒性氣體區、可燃性氣體區、惰性氣體區,將相同性質的氣體集中加強管理,可燃性氣體區要特別規劃防爆墻與泄漏口,若空間不足,可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區。
2.管路設計需要考慮輸送的距離,距離越長,成本越高,風險也越高,通常較合理的設計流速為20ml/S,可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S,在用量設計方面,則需要考慮使用點的壓力和管徑大小,前者與氣體特性有關,后者使用點的管徑一般為1/4”~3/8”。(7)氣瓶在儲存、使用時必須直立放置,工作地點不固定且移動頻繁時,應固定在專用手推車上,防止傾倒,嚴禁臥放使用。
3.根據用氣設備的分布情況,高純氣體的管網不宜過大或者過長;宜采用不封閉的環形管路,在系統末端連續不斷排放少量的氣體,以便在管網中總有高純氣體流通,不會發生“死空間”引起高純氣體的污染。
4.管路中應減少不流動氣體的“死空間”,不應設有盲管,在特種氣體的儲氣瓶與用氣設備之間應設吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個閥門的開關順序、系統吹除,以確保供氣系統的安全、可靠運行和防止“死區”形成而滯留污染物,降低氣體純度。
5.對高純氣體純度要求不同的用氣設備,宜采用分等級高純氣體輸送系統;也可采用同等級輸送系統,但是在純度要求高的用氣設備鄰近處設末端氣體提純裝置。
6.為了檢測高純氣體的純度和雜質含量,輸送系統除了設置必要的連續檢測儀器,如衡量水含量或者氧雜質含量等分析儀外,還應設置定期取樣用的檢測采樣口,以便按規定時間進行采樣,分析高純氣體中各種雜質的含量。
7.在亞微米級的集成電路生產中,要求供應10-9級的高純氣體,為了確保末端用氣工藝設備處的氣體純度,使氣體中的雜質含量(包括塵粒)控制在規定的數值內,一般在設備前設置末端純化裝置,或末端氣體過濾器。
工業氣體管道壓力試驗方法
氣體管道壓力試驗方法
管道系統安裝完畢后,為了檢查管道系統的強度和嚴密性及保證安裝質量,
應對管道系統進行壓力試驗。
試壓的一般規定
1管道試壓前應全i面檢查、核對已安裝的管子、管件、閥門、緊固件以及支架等,質量應符合設計要求及技術規范的規定。
2管道試壓應編制試驗方案,根據工作壓力分系統進行試壓。一般對于同向大氣的無壓管線,如放空管、排液管等可不進行試壓。
3試壓前將不能與管道一起試壓的設備及壓力系統不同的管道系統用盲板隔離,應將不宜與管道系統一起試壓的管道附件拆除。臨時裝上短管4管道上所有開口應封閉,系統內的閥門應開啟。
5試壓時,應用精度等級1.5級以上的壓力標2只,表的量程應為測壓力的1.5~2倍,一只裝在試壓泵出口,另一只裝在本系統壓力
波動較小的其他位置。
6試壓時應將壓力緩慢升至試驗壓力,并注意觀察管道各部分情況,如發現問題,應卸壓后進行修理,禁止帶壓修理。缺陷消除后重新試壓。
7當進行壓力試驗時,應劃定禁區,無關人員不能進入,防止傷人。
8對于劇i毒管道及設計壓力P≥10Mpa管道,壓力試驗前應按規范要求將各項資料經設計單位復查,確認無誤。
9試壓方案已經過批準,且進行了技術交底。
10管道系統試驗合格后,應及時填寫“管道系統壓力試驗記錄”,有關人員簽字確認。

氣路系統百科知識
一、氣瓶間。
1、鋼瓶間的設計宜設在中心化驗室的主入口側,并應采取遮陽防曬措施,當鋼瓶間與建筑物為一體時,隔墻應為鋼筋混凝土防爆墻。
2、通風良好,并具有足夠的泄爆面積,室內地面應有防火花,防靜電措施;
3、可燃氣體鋼瓶(H2,C2H2)與助燃氣體鋼瓶(O2)應隔開布置;
4、還應設立泄露報警系統。
二、色譜室。
1、中心化驗室的管道應統籌規劃、集中布置,以便于安裝、操作和檢修為布置原則;
2、引入中心化驗室的工藝管道總管應設切斷閥,并根據需要設置壓力表、溫度計、流量計、過濾器和減壓閥等。閥門或儀表宜設置在便于觀察和檢修的位置;
3、可燃易i爆氣體如氫氣、乙i炔、氧氣等宜明線鋪設;
4、管道宜集中布置并沿墻明設,且方便安裝及檢修;
5、使用鋼瓶氣管道的設備臺應離墻布置,留出的維修空間不宜小于600mm;
6、氫氣管道宜采用焊接連接,不應采用螺紋連接和使用閘閥。
