蘇州氣體管道材質品牌企業 珂銳弘揚流體

實驗室氣體管道安裝

【實驗室氣體管路要求】

1、所有氣體管路都由高質量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端，對氣體純度要求不是太嚴格的地方。（比如通風柜）。

2、氣體管道不得和電纜、導電線路同架鋪設。

3、易i燃氣體，如乙i炔需要和其他氣體分開單獨引入。氫氣管道若與其他可燃氣體管道平行敷設時，其間距不應小于0.5M；交叉敷設時間距不應小于0.25M。分層敷設時氫氣管道應位于上方。

4、壓縮空氣在管路上有過濾雜質和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯一路，用單獨的閥門隔離，以方便對過濾裝置進行維修。

5、高純氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調節裝置時才可以使用接頭配件。

6、 每個實驗室都要有單獨的控制閥、減壓閥和壓力表。

7、引到工作臺的氣體管路要安裝單獨的控制閥。工作臺上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。

8、每隔1.5米左右，氣體管路就需要有支架。另外根據氣體管路彎曲的半徑，設置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣體管路所有的支架都要進行鍍鋅防腐處理。

9、不銹鋼管件在現場安裝時方可啟封，啟封后均要適用5N的高純氣體吹掃后才能接入系統。整個系統安裝完成后，還要再使用5N的高純氮氣進行大流量吹掃，以確保整個系統的潔凈度。

10、供氣系統安裝完成后，根據要求進行相關的強度測試、密封測試和穩定性測試。

【實驗室氣體管路安裝檢驗】

實驗室承包商要保證氣體管路系統的清潔，所有氣體管路的檢驗根據標準程序。氣體管路要做壓力檢驗，防止管路泄漏。

不同氣體配管要求

腐蝕性能較強的氣體時，須選用耐腐蝕的不銹鋼管材作配管，否則，管材將會由于腐蝕而在內表面產生腐蝕斑，嚴重時會出現大片金屬剝離甚至穿孔，從而污染輸配的純凈氣體。

大流量的高純、高潔凈度氣體輸配管道的連接，原則上全部采用焊接，要求采用的管材，在施焊時組織不發生變化。含碳過高的材料在焊接時，受焊接部位的透氣，使得管內外氣體的相互滲透，破壞輸送氣體的純度、干燥度和潔凈度，導致我們的各項努力全部失去意義。氣體管道安裝聯接方法管子、管子聯接件、閥門和設備上的進出接管間的聯接方法，由氣體的性質、壓力和溫度以及管子的材質、尺寸和安裝場所等因素決定，主要有螺紋聯接、法蘭聯接、承插聯接和焊接等四種方法。

高純氣體配管及附件材質的選擇

選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料。目前超大規模集成電路前工序高純氣體輸送系統管道材料采用不銹鋼光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不銹鋼電拋光管（SS316L-EP）等，但是對要求控制高純氣體中總雜質含量≤1.01.0×10－6及以下的管材應用SS316L-EP管。氣體管道安裝氣體管道可能承受許多種外力的作用，包括本身的重量、氣體作用在管端的推力、風雪載荷、土壤壓力、熱脹冷縮引起的熱應力、振動載荷和地i震災害等。

注：①管路型式以氣體特性設計，惰性氣體使用一般的單層管，作為制程用的反應氣體，則選用高i級別的SS316L-EP管；使用與芯片接觸但不參與制程反應的氣體則選用SS316L-BA管。

②對于自燃爆i炸，有劇i毒的特種氣體，如SiH4、PH3、AsH3等則考慮使用雙套管，它的內/外管材質一般為SS316L-EP/SS316L-AP，此設計的主要目的有兩點，首先可保護內管直接受到外力撞擊，其次能將由內管滲漏的氣體阻絕于外管，并利用相關的檢測設備檢測，目前常用的設計有正壓和負壓兩種方式，負壓設計是將內外管間抽成真空，正壓設計則是灌以氮氣維持正壓，兩者皆可接上壓力表或者壓力警報器檢知泄漏狀態。5、易i燃氣體（如乙i炔、氫氣等）需要和其它氣體分開，單獨引入。

通常采用的方法有機械噴砂、化學溶液清洗、化學拋光、電拋光等，目前廣泛應用的管材有光亮退火管和電拋光管。

高純氣體管道工程的變溫吸附法除水步驟有哪些？

1、用固體CaCl2除水，水份可降低至0.1%（體積）以下；

2、用硫酸洗滌除去高純氣體夾帶的水份，為了除去高純氣體中的雜質水，資料表明工業上常用硫酸洗滌除去高純氣體夾帶的水份。在保持過程佳工藝的理想條件下，水份可降至0.01%（體積）以下；

3、采用冷凍法來脫除高純氣體中水，可降到600～1000ppm，夏季水份還要更多些；

4、JMT型干燥劑是一種含硅i鋁比的絲光沸石型分子篩，具有良好的熱穩定性，除在300℃前有一脫水而引起明顯吸熱峰外，在900℃前無明顯的分解峰，說明其晶格具有優良的穩定性。