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氣體管道安裝

聯接方法

管子、管子聯接件、閥門和設備上的進出接管間的聯接方法，由氣體的性質、壓力和溫度以及管子的材質、尺寸和安裝場所等因素決定，主要有螺紋聯接、法蘭聯接、承插聯接和焊接等四種方法。

螺紋聯接

主要適用于小直徑管道。聯接時，一般要在螺紋聯接部分纏上氟塑料密封帶，或涂上厚漆、繞上麻絲等密封材料，以防止泄漏。整個系統安裝完成后，還要再使用5N的高純氮氣進行大流量吹掃，以確保整個系統的潔凈度。在1.6兆帕以上壓力時，一般在管子端面加墊片密封。這種聯接方法簡單，可以拆卸重裝，但須在管道的適當地方安裝活接頭，以便于拆裝。

各種氣體配管配件要求

在半導體體行業線寬越做越小，其對氣體純度、顆粒度、雜質含量、露i點的要求也越來越高。

高純氮氣(PN2)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

氮氣(N2)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管或光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或球閥。

高純氫氣(PH2)氫氣(H2)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。(Ar)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

氦氣(He)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L不銹鋼管)閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

特氣系統：必要的還需做雙套管：外管酸洗鈍化(AP)處理，內管電解拋光(EP)，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

對于特殊氣體來講，氣體品種多，有毒有害氣體多，原來是一機臺配一氣柜，高昂的裝備組合和維修費用大大增加了投資成本，且有的還布置在工藝間內，存在著泄漏的安全隱患。氣體管道設計規范（1）氫氣、氧氣和煤氣管道以及引入實驗室的各種氣體管道支管宜明敷。現在廣泛采用集中供氣系統，氣柜集中，自控系統不斷完善，其報警、噴淋、切換、吹掃多較為成熟，特氣間也與工藝間隔離，并對房間有防爆要求，工作的安全性大大提高。

工業氣體管道壓力試驗方法

氣體管道壓力試驗方法

管道系統安裝完畢后，為了檢查管道系統的強度和嚴密性及保證安裝質量，

應對管道系統進行壓力試驗。

試壓的一般規定

1管道試壓前應全i面檢查、核對已安裝的管子、管件、閥門、緊固件以及支架等，質量應符合設計要求及技術規范的規定。

2管道試壓應編制試驗方案，根據工作壓力分系統進行試壓。一般對于同向大氣的無壓管線，如放空管、排液管等可不進行試壓。

3試壓前將不能與管道一起試壓的設備及壓力系統不同的管道系統用盲板隔離，應將不宜與管道系統一起試壓的管道附件拆除。臨時裝上短管4管道上所有開口應封閉，系統內的閥門應開啟。

5試壓時，應用精度等級1.5級以上的壓力標2只，表的量程應為測壓力的1.5~2倍，一只裝在試壓泵出口，另一只裝在本系統壓力

波動較小的其他位置。

6試壓時應將壓力緩慢升至試驗壓力，并注意觀察管道各部分情況，如發現問題，應卸壓后進行修理，禁止帶壓修理。缺陷消除后重新試壓。

7當進行壓力試驗時，應劃定禁區，無關人員不能進入，防止傷人。

8對于劇i毒管道及設計壓力P≥10Mpa管道，壓力試驗前應按規范要求將各項資料經設計單位復查，確認無誤。

9試壓方案已經過批準，且進行了技術交底。

10管道系統試驗合格后，應及時填寫“管道系統壓力試驗記錄”，有關人員簽字確認。

減壓器的使用要點

(1) 使用前應確認減壓器是完好的,并檢查有無油脂污染,特別是進口處的污物及灰塵等應及時清除。

(2) 檢查氣瓶是否有油脂污染,螺紋是否損壞,如發現有油脂或螺紋損壞,就不再使用該氣瓶,并將這些情況通知供氣單位,清除氣瓶閥(特別是閥口處)的油脂污染,修復螺紋。

(3) 把減壓器裝到氣瓶閥上,將輸入輸出接頭擰緊。

(4) 打開氣瓶閥前,先要把減壓器調節螺桿逆時針方向旋到調節彈簧不受壓力為止。

(5) 打開氣瓶閥前,先不要站在減壓器的正面或背面。氣瓶閥應緩慢開啟至高壓表指示出氣瓶內壓力。

(6) 順時針方向旋轉減壓器調節螺桿使低壓表達到所需的工作壓力。如果太高應旋松調節螺桿,放出一部分氣后重新調節。

(7) 當工作結束后,先關閉氣瓶閥,然后打開設備上的閥把減壓器內的氣體全部排出。接著把剛才打開的閥門關好,逆時針方向旋轉調節螺桿,一直到調節彈簧不受壓為止。

(8) 減壓器應妥善保存避免撞擊振動,不要放在露天和有腐蝕性介質的地方。

(9) 減壓器只能使用規定的氣體。