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              OPTM反射率測試值得信賴【大塚電子】

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              發布時間:2021-01-01 11:15  

              頭部集成了薄膜厚度測量所需功能

              通過顯微光譜法測量高i精度絕i對反射率(多層膜厚度,光學常數)

              1點1秒高速測量

              顯微分光下廣范圍的光學系統(紫外至近紅外)

              區域傳感器的安全機制

              易于分析向導,初學者也能夠進行光學常數分析

              獨立測量頭對應各種inline客制化需求

              支持各種自定義

              測量項目:

              i對反射率測量

              多層膜解析

              光學常數分析(n:折射率,k:消光系數)



              大塚電子(蘇州)有限公司主要銷售用于光學特性評價?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產業以及液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示產業以及其相 關材料的光學特性評價?檢查。歡迎新老客戶來電咨詢!

              考慮到表面粗糙度測量的膜厚值[FE-0007]

              當樣品表面存在粗糙度(粗糙度)時,將表面粗糙度和空氣(air)及膜厚材料以1:1的比例混合,模擬為“粗糙層”,可以分析粗糙度和膜厚度。此處示例了測量表面粗糙度為幾nm的SiN(氮化硅)的情況。


              膜厚測試儀的預熱   關機超過3個小時開機必做。點擊“波數”,將波譜校準片放入儀器,將Ag部分移至十字線中間,鐳射聚焦,設定測量時間為6S重復測量次數為30~50次,點擊Go鍵,等待自動連續測量完成。

              膜厚儀是一種比較精密的監測設備,它在平時的使用中對于精準度的要求很高,但是還是會有誤差的現象發生,除了儀器本身的一些故障以外,環境因素也是造成誤差的一大“元兇”。


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