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真空泵的運行與維護防止返油的措施：在泵入口管路上設置放氣閥，使入口壓力維持在10Pa以上，這樣可以減少返流的98%。對于單級泵，在泵運轉時打開氣鎮閥就能很好的防止返流。在泵的入口設置吸附阱，依靠吸附劑吸返流蒸汽。

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噪音大是很多用戶經常碰到的問題點，這主要是由于泵浦內部發生碰撞發生的，比如葉片與缸體碰撞，軸承位變形導致軸芯晃動，以及內部螺絲松動都會造成噪音大的問題。

無油真空泵故障分析及解決：泵不排液故障分析：灌泵不足；泵軸轉向不對；濾網堵塞，底閥不靈；解決辦法：重新灌裝；調整泵軸轉向；停機檢查，清楚雜物。

泵排液后中斷故障分析：吸入管路漏氣；灌泵時吸入側氣體未排凈；吸入側突然被異物堵塞；解決辦法：檢查吸入管連接處及機械密封的密封情況；重新按要求灌泵；停機清理雜物。

流量不足故障分析：管路漏氣，漏液；阻力損失增加；葉輪磨損，堵塞，腐蝕；解決辦法：重新灌裝；調整泵軸轉向；停機檢查，清楚雜物。

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真空泵使用時間過長，出現零部件老化現象就需要經常維修.真空泵維修要求：定期檢查油的質量，若發現油品變質應及時更換新油，確保真空泵工作正常;需經常檢查油位位置，不符合規定時須調整使之符合要求。真空泵運轉時，真空泵維修，油位到油標中心為準;真空泵中若是油使用時間超過一定期限以后，需換油;真空泵在寒冬季節使用時，需將泵體下部放水螺塞擰開將介質放凈，防止凍裂;開動電機，當真空泵正常運轉后，打開出口壓力表和進口真空泵，視其顯示出適當壓力后，逐漸打開閘閥，同時檢查電機負荷情況。如果真空泵進水是由于冷卻器積水過多，水被抽到真空泵內處理的油中含水量多，其水蒸汽未能在冷卻器中冷卻成水而進入真空泵，可通過觀察冷卻器上的液位計，若水位過高，應及時放掉，應清洗真空泵，更換真空泵油去除這樣的情況。