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氦質譜檢漏儀的發展史必須追溯到上個世紀初。早在1918年期間，歐洲國家因和的需要就開始接觸檢漏，并開始對檢漏手段的提升做了大量的基礎研究工作，直到1941年，當時，科學家獲知德國正在研制一種新型。這種的原理就是基于剛剛發現的鈾的同位素的裂變現象。羅斯福認為必須搶先達到此目的，加之第二年的珍珠港事件加速誕生了“曼哈頓”計劃。這個計劃的兩個目標之一就是研制（即）。為此，必須研制超高靈敏的檢漏儀。其原因還得從的濃縮談起。

天然鈾中含有鈾238和兩種同位素。能夠發生裂變反應的同位素是，是的主要原料。可是天然鈾中的含量僅0.7%。為此，科學家只能采用氣體擴散法，從鈾238中把含量甚微的分離出來。氣體擴散法分離時鈾238的原理是這樣的：若有一個極其微小的孔隙， 部分氣體分子通過這個微孔的速率取決于它們的分子量。分子量小的氣體分子能夠較快的通過這些微孔。如果讓混合氣體通過由多孔膜形成的長管，就可以成功地把兩種氣體分離。

新型檢漏裝置的示蹤氣體必須滿足三個要求

（1）系統的殘余氣體的質潛中沒有它的譜線。即便儀器處于大氣環境，這種氣體在儀器中也幾乎不存在。

（2）能夠在試驗狀態下很容易地把它從系統中抽出， 所用的示蹤氣體不會污染系統。

（3）分子量低、粘度低、購置方便。顯然，氦氣是滿足這三個要求的理想的氣體。

橡樹嶺的擴散工廠主要是由大型圓柱形容器構成。容器與油罐車上的油罐的大小相當。廠內的大型容器數以百計，一個又一個的聯結在一起。其內部有可以有效分離出鈾的含有微孔的長管。為了防止泄漏，必須對所有容器的器壁進行嚴格而認真的檢漏。

初用于橡樹嶺擴散工廠的氦質譜檢漏儀封裝在玻殼中。其零部件和管道也是玻璃制成的。抽氣裝置又用的是玻璃式擴散泵。當這些由玻璃封裝的檢漏儀進入現場后損壞很大。玻璃系統經常破碎，不得不請許多玻璃工進行維修。在當時, 熟練的玻璃工實在太少了。后來參加調試的人員出通諜：如果檢漏儀不能作成實用型，他們將拒絕使用。尼爾博士在十分困難的情況下，終于研制成功了金屬的質譜計和金屬式的真空系統。這也是現代氦質譜檢漏儀的雛形。金屬式氦質譜檢漏儀的研制成功終于適應了擴散工廠對檢漏的嚴格的要求。檢漏儀的研制成功為后來的研制成功作出了歷史性的貢獻。

氦質譜檢漏真空系統電氣部分

除了主機供電部件和主機控制部件，還有幾組主要電路：

1）離子源電源。為離子源提供加速、聚焦、拒斥電壓。

2）發射電流穩定電路。穩定和調節發射電流。

3）離子流放大器和音響報警器。將離子流進行放大并將輸出信號送入輸出儀表或顯示器和音響報警器。

4）真空測量電路。一般用熱偶計測量低真空，用冷陰極磁控入電真空計測量高真室。

5）燈絲保護電路。當質譜室正常工作壓力被破壞后，立即切斷燈絲供電回路，以保護燈絲。

6）其他電路。不同型號的檢漏儀所具有的功能不盡相同，所以電路也有不少差加，這在各自的說明書中都有說明，這里不同贅述。