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發布時間：2021-09-07 06:12

氦質譜檢漏方法是基于氦質譜檢漏儀的氦分壓測量原理。當樣品的密封面發生泄漏時，氦和其他元件的泄漏氣體會從泄漏孔中泄漏出來。當泄漏氣體進入氦質譜泄漏檢測器后，由于氦質譜泄漏檢測器具有選擇性識別能力，因此只給出氣體中氦的分壓信號。在獲得氦氣信號值的基礎上，通過標準的泄漏量比較，可以得到氦氣的泄漏量。

根據氦氣儲氣庫位置與樣品的不同關系，氦質譜法檢漏方法可分為真空法、正壓法、真空壓力法和反壓法，總結了這4種氦質譜法檢漏方法的檢測原理、優缺點和檢測標準。

得到氦質譜檢漏器的主要性能指標。

1.較小檢漏率: 即氦質譜檢漏器能檢測到的較小泄漏率。

2.響應清除時間: 當一定流量的勘探氣體進入氦質譜檢漏儀后，電子系統和真空系統需要一定的響應時間，漏率指示器可以達到較大值，漏率指示器不能立即恢復到零，需要一定時間下降，通常由于氦的吸附和解吸，去除時間略長于響應時間。

3.啟動時間: 氦質譜泄漏探測器開啟電源和能夠探測到泄漏之間的時間

氦質譜檢漏儀的結構和工作原理

氦質譜檢漏儀是180°磁偏轉型的質譜分析計，其基本原理是根據離子在磁場中運動時，不同質荷比的離子具有不同的偏轉半徑來實現不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質譜室、真空系統及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當真空度P1 優于200 Pa 時，打開入口閥1、2，關閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級泵繼續對檢漏接口抽真空，當P1降至20 Pa 時，入口閥2 關閉，入口閥3 打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應時間縮短，此時檢漏儀的小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s[1]。

氦質譜檢漏儀故障與處理

檢漏儀內部泄漏

定位方法

采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測，因檢漏儀內部結構緊湊，各密封結構間的距離很近，檢測時定位難度較大。經摸索，在檢測時采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先將分子泵風扇的電源斷開，避免風扇將氦源吹散至各個密封環節，造成定位不準確。②噴吹時，要嚴格控制氦源的流量，盡量采用噴咀流量小的噴，提高定位的能力。③儀器的反應時間小于1 s，所以在一個部位噴吹的時間約3 s，再等待約3 s 后觀測信號有無變化。