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真空檢漏的具體方法

為了方便說明真空檢漏方法，我們以真空爐為例進行真空檢漏。真空爐主要由機械泵、羅茨泵、擴散泵、前級管路、爐體等幾部分組成，真空爐的生產中為常見問題是極限壓力合格，而升壓率不合格，或者是兩者都不合格，比較少見的是升壓率合格但極限壓力不合格。

這種情況通常存在大于等于9.9×10-4 Pa·m3/s的較大漏點，檢漏步驟為：

①用內徑0.5mm左右的針頭從機械泵到爐體快速的噴吹一遍，會很快發現漏點，這時發現的漏點都較大，然后應立即焊接處理或用封泥封堵，一旦封堵成功，真空度和檢漏儀靈敏度會明顯提高。

②第二遍檢漏，進行第二遍檢漏時速度要較遍慢些，重點檢查表面不規整的焊口、法蘭接縫處、動密封處、熱電偶密封、電極、線圈、水套、各種膠圈處等部位。具體步驟與極限壓力不合格、升壓率合格的檢漏方法相同。

綜上三種問題，通過外部檢漏通常都會解決，但在多遍檢漏后問題若是仍然存在，我們就應該考慮是否存在內部漏點。筆者發現，內漏大多來源于各種充氣閥。若要驗證，可以在閥門保持關閉的狀態下，將閥門的保護氣體一端法蘭打開一縫隙，充入氦氣檢查是否漏氣，若不漏氣，再將閥門連接好后立即充入保護氣體到管路中，如果這時檢漏儀漏率值上升，那么就可以確定充氣閥泄漏是真空指標不合格的原因。

真空系統的密封性非常重要，各個部分要分別檢漏又顯得麻煩，那有沒有一個方法可以進行檢漏工作呢，任何一個地方的泄漏都能監測到，是有的。

真空系統經過長時間的運行，會發生老化，年久失修而造成泄漏問題，特別是運動的接口處更是因為摩擦而發生泄漏，因此泄漏問題會隨著時間的推移而不可避免，真空泵油霧分離器發生泄漏只要使用性能更穩定的氟膠圈即可解決，那真空系統的一些微小泄漏其實是較難發現的，如果長期沒有發現，泄漏情況就會加重，影響生產。

真空泵操作人員應該嚴格記錄每次的點檢情況，以當故障發生時快速發現問題并解決。發生泄漏的時候也能更快分析出泄漏的點。靜態升壓法是真空檢漏的簡單方法之一。該方法只需要通過一個工具—測量規管即可，就不用再額外使用其他的工具了。該工具使用方法也非常的簡單，只需要將容器抽空達到所需的壓力范圍，并關掉泵的閥門，將真空泵與容器分離，就可以用該工具測量容器內壓力隨著時間的變化而變化的情況，就可以得出相關的泄漏數據。連同真空泵油霧分離器整個封閉系統一并檢測。

利用該工具可以準確測出設備的總體密封情況，以保證真空能夠滿足生產條件。只要只用這個工具，就能檢測整個系統是否發生泄漏是不是非常的簡便，真空泵油霧分離器也不用再單獨檢漏了。但是簡單的方式也會有一定的局限性，該方法只能進行檢漏，卻不能發現泄漏所在。

要找到泄漏到底發生在哪里，就需要輔助以其他檢測方法。這種方法雖然是簡單的但是不是也不是好的，特殊情況應該使用特殊的檢測方案。建議大家平時多積累真空技術知識，臨危不懼，保持清醒與冷靜才是硬道理。

真空應用設備哪些部位容易出現泄漏，應該如何檢漏？

檢漏技術在真空領域占有非常重要的地位，它關系到真空設備的各項真空指標，如何快速地找到漏點關系到企業的生產效率與經營成本。氦質譜檢漏儀是第二次期間快速發展起來的一種高精度檢漏儀，其靈敏度高達10-15Pa·m3/s。當今常見的氦質譜檢漏儀靈敏度在10-9~10-13Pa·m3/。

一、氦質譜檢漏儀是如何工作的？

氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、、真空系統、電子線路及其他電氣部分組成。為了方便解釋氦質譜檢漏儀是如何工作的，我們以磁偏轉型的氦質譜檢漏儀為例進行說明。

在質譜室的離子源N內，氣體被電離成離子。在電場作用下離子聚焦成束，并以一定的速度經由縫隙S1進入磁分析器，在均勻磁場的作用下，具有一定速度的離子束，將按圓形軌跡運動。調節加速電壓U使氦離子束M2恰能通過縫隙S2到達收集極K而形成離子流。利用弱電流量測設備，使之在輸出儀表與音響裝置上反映出來。而其他不同于M2的離子束

汽機真空系統檢漏方法

氦質譜檢漏檢漏：鏈接氦質譜儀器的分析器在凝汽器的真空泵一端，之后拿著氦氣噴，噴遍所有的可以漏點，同時保持和分析儀器端點的人員聯系，如果端點接收到氦氣，說明噴附近有漏點，再反復查找，爭取確定吸空的泄漏點。缺點是，由于氦氣易揮發，特別是迅速上漂到一大片面積。難以定為漏點。對于死角難以攀登噴氣。類似的方法還有鹵素法等。

氦質譜檢漏，不適用于空冷島檢漏。空冷島的露天傾斜結構，使得氦氣瞬間揮發掉，特別是遇到有風的天氣。