合肥氦檢漏回收系統多重優惠「博為光電」

真空箱氦檢漏及回收系統設計關鍵技術

（1）真空箱體設計：首先、要保證箱體在抽真空過程中受力發生非彈性形變，造成箱體開裂。第二、要保證良好的氣密性，真空箱一般是焊接成型，根據真空系統要求，焊縫無氣孔、接痕， 表面光滑， 焊后焊縫表面磨光， 同箱體板一起拋光。這樣處理的箱體內表面光潔， 表面藏氣較少。第三、真空箱門開合自如，開合過程中不剮傷箱體密封圈，為提高箱體密封圈的使用壽命，設計時盡量考慮使密封圈在垂直箱體法蘭面方向上受力，盡量避免斜向受力。

（2）真空管路設計：真空管路設計首先要考慮管道流導要與真空泵的抽速相匹配，避免大馬拉小車現象。

（3）檢漏系統設計：首先、系統應具備檢測大漏、中漏、微漏功能，系統一但出現大漏應立即中止檢漏并給出報警，防止出現大漏后，繼續執行氦檢工藝， 造成系統累積大量氦氣而無法清除，也即是出現“氦”現象。其次、一但出現大漏，應有清氦措施，大程度的清除氦本底。

氦質譜檢漏儀的基本原理與組成

氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、真空系統、電子線路及其他電氣部分組成。

目前的氦質譜檢漏儀基本上都是磁偏轉型的，現以180°的磁偏轉型檢漏儀為例加以說明。

在質譜室的離子源N內，氣體被電離成離子。在電場作用下，離子聚焦成束，并以一定的速度經由縫隙S1進入磁分析器，在均勻磁場的作用下，具有一定速度的離子束，將按圓形軌跡運動。其偏轉半徑按下列公式計算：

R=1.8（MU）^1/2/H

式中，R為偏轉半徑（cm）；H為磁場強度（A/m）；M為有效質量，即離子質量和電荷質量之比；U為加速電壓（V）。

由上式可以看出，當H和U為定值時，對應于不同的M，有不同的R。調節加速電壓U使氦離子束M2恰能通過縫隙S2，到達收集極K而形成離子流。

利用弱電流測量設備，使之在輸出儀表與音響裝置上反映出來。而其他不同于M2的離子束（如圖中M1、M3）則以不同的偏轉半徑而被分開

真空系統不嚴密的主要原因一般是真空系統的泄漏造成的。

真空系統泄漏主要是由于系統內有管道法蘭或儀表接口松動，密封墊破損或焊口裂縫造成空氣被吸入產生的。而漏入真空系統的空氣一般都會通過真空泵抽出，排到大氣中。氦質譜檢漏儀真空查漏法，正是利用了這一點，在我們懷疑的泄漏點處噴氦氣，在另一邊，也就是真空泵的排氣口處安排人員將氦質譜檢漏儀的吸架設好，“守株待兔”。如果該處懷疑的泄漏點真的泄漏，那噴在漏點處的氦氣就會被吸入系統，進入凝汽器并被真空泵抽出，通過真空泵的出口排出來，架設在真空泵出口的吸就會捕獲這些氦氣，檢漏儀就會識別檢測出氦氣分子量。

一般來說漏點越大，獲的氦氣分子量就越多，被檢漏儀檢測到的氦氣分子也越多，這樣就能準確鎖定漏點的位置和大小。

氦質譜檢漏儀真空查漏人員一般都是對系統非常熟悉的人員，因此在火電廠組織真空時都優選選擇熟悉系統的運行人員。

真空泄漏中的實漏、虛漏、外漏、內漏

實漏和虛漏

并非所有的抽氣時間延長、極限壓力下降都是因為泄漏，在使用檢漏儀檢漏前，有必要了解一下如何判斷真空設備是否真的發生了泄漏。

真空腔室的內壁或腔室內壁附著的污染物，在真空下持續的釋放出氣體，這種現象被稱為放氣。當真空腔室內部存在死空間，并且該死空間通過一個狹長的通道與腔室內部連通時，死空間內的氣體在真空下也會緩慢的釋放出來，形成類似于放氣或泄漏的現象，通常把這種現象叫做虛漏。

真實的泄漏可以通過檢漏找到，放氣也可以通過清洗真空腔體內表面而解決，而虛漏一旦產生，很難被發現，需要在設計和制造時盡量避免容易產生虛漏的結構或工藝，如上圖中的螺紋連接（一定要用的話可以使用空心螺栓），很長的狹縫或毛細管，兩側滿焊的腔體焊接（較厚的殼體建議真空側滿焊大氣側斷續焊）等等。