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氦質譜檢漏儀的結構

分析器

分析器作用是使不同質荷比的離子按不同軌跡運動，從而將它們彼此分開，僅使氦離子通過其出口隙縫。分析器由一個外加均勻磁場及一個出口電極組成，如圖4所示。磁場方向與離子束入射方向垂直。

由離子源出來的離子束射入它垂直的磁通密度為B的均勻磁場分析器中后，由于分析場中電場為零，所以離子僅受磁場的洛倫茲力作用而作半徑為R的圓周運動。偏轉半徑R與質荷比M/Ze有關，當B及U一定時，相同質荷比的離子具有相同的運動半徑，不同質荷比的離子將以不同的半徑偏轉而彼此分開。質荷比小的偏轉半徑小，質荷比大的偏轉半徑大。在偏轉180°處，用一分析器出口電極將其他離子擋住，而使氦離子軌道對準出口電極上的狹縫，氦離子穿過狹縫到達離子收集極形成氦離子流。

氦質譜檢漏儀在科技時代的市場應用和發展

科技信息化不斷更新迭代的市場，氦質譜檢漏儀的應用技術也在不斷發展和完善。一方面過去的氦質譜檢漏儀不能滿足現階段的一個需求，而且對檢漏儀提出新要求的情況下，檢漏儀設備使更新，另一方面每個行業的不足都在進步的過程，缺陷與不足相互補充，相互促進。而現在的氦質譜檢漏儀早已告別了四五十年代的初期情形，在性能和領域上都有新的突破。

氦質譜檢漏儀的工作原理

氦質譜檢漏儀是根據質譜分析原理，以氦為示蹤氣體，對真空設備和密封器件的漏隙進行定位或定量、定性測量的完整系統。

我們知道氣體在電子的轟擊下會產生帶電粒子，帶電粒子在電場的作用下獲得能量做加速動力，而在磁場的作用下將做圓周運動，而具有不同質荷比的離子其運動半徑不同。這就使一束帶電粒子在磁場的作用下按荷質比分離，這門研究使不同質量的粒子在電磁場中運動并依質荷比進行分離的學科稱為質譜學。根據質譜學原理制成的儀器叫質譜儀。氦質譜檢漏儀是質譜儀器中的一種，將質譜儀用于檢漏技術是質譜儀在真空密封檢測技術中的重要應用。

檢漏的基本任務靠采取一些標準檢漏技術來完成，而采用哪種技術要根據被檢件的結構、檢漏的經濟效益及檢漏系統的性質來決定。