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尼爾博士將設計圖紙全部交給了通用電氣公司并簽訂了合同，不久后，橡樹嶺擴散工廠所用的氦質譜檢漏儀便全是由美國通用電氣公司生產的，在生產過程中, 又作了不少的改進。擴散泵前增加的冷阱便是為改進氦質譜檢漏儀所作的新貢獻。

1946年初，真空電子工程公司與電動力學公司合并后也開始生產銷售的氦質譜檢漏儀。當時, 通用電氣公司的氦質譜檢漏儀已有若干個型號的產品。真空電子工程公司是由戰時的Kellex公司的檢漏小組的幾位研究生創辦的，他們是銳伯,尼爾肯。60年代后, 通用電氣公司不再生產檢漏儀。幾經合并后, 檢漏儀由Ametek公司生產。真空電子工程公司生產的檢漏儀基本上籠斷了這個領域達40年之久。現在用戶已可以自由選擇國內外生產的不同型號、規格的氦質譜檢漏儀。

氦質譜檢漏儀的結構

氦質譜檢漏儀的型號較多，但基本結構大同小異。它主要由質譜室、真空系統及電氣部分組成。

（1）質譜室

不同類型的氦質譜檢漏儀的質譜室結構大同小異，都是由離子源、分析器和收集器三部分組成，它們放在一個抽成高真空的質譜室外殼中

1）離子源

離子源的作用是使氣體分子電離，形成一束具有一定能量的離子。它由燈絲（陰極）、離化室及離子加速極組成。

燈絲在真空中通電加熱后發射電子，在離化室與燈絲之間的電場的作用下，電子加速穿過離化室頂部狹縫進入離化室，在離化室中與氣體分子發生多次碰撞后損失能量，打到分子電離形成正離子，正離子在離化室與加速極之間的電原U（即離子加速電壓）作用下，相繼穿過離化室正面的矩形狹縫和加速極的矩形狹縫，由于加速電場對離子做的功轉變為離子的動能，便形成具有一定能量的離子束。由于離子是由中性氣體分子失去Z個帶負電荷e的電子而形成的，所以離子電荷為正的Ze。由于各種氣體的離子均受同一電場的加速，當它們的電荷量相等時，它們的能量相等，但由于質荷比不同，故運動速度也就不同。

怎么樣影響氦質譜檢漏儀檢測精度

溫度對檢測的影響

對于處于密閉容器的氣體而言，當溫度升高時，其內部的壓力也隨之升高。因而溫度的變化不可避免地成為影響壓力變化的重要因素。一般估計這種影響的范圍大致在溫度每變化1℃引起的壓力變化為0.36%的測量壓力值。因而，隨測試壓力的提高，溫度的影響會變得明顯。

受到檢測容積的影響

在一個特定的泄漏率值里，如果檢測容積增大的話，那么相應的壓力降低的速度就越低，因而測量時間需要相應增加。在一些特定的條件下，如果不想方設法減少測量容積，那么可能會無法達到測量需要的度和靈敏度。