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氦質譜檢漏儀的結構

收集極

收集極是對準出口電極狹縫安裝的，其作用是收集穿過出口電極狹縫的氦離子并通過一個電阻輸入到小電流放大器進行離子流的放大和測量。由于氦離子一般只有10-13~10-12A，要使小電流放大器一極輸入信號電壓足夠大，則輸入電阻必需很大（一般高于1010歐），一級放大用的靜電計管必須要高度絕緣，所以把高阻及靜電計管放在高真空的質譜室中。

真空系統

儀器的真空系統提供質譜正常工作所需要的真空條件，不同型號的檢漏儀其真空系統有較大的差別。圖5為常見的普通型氦質譜檢漏儀真空系統。

檢漏儀使用中注意事項

檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點：

①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩定，電壓過高會燒壞電源，嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵，應連接穩壓電源(UPS)。

②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。

③檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養，保養的項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。

氦質譜檢漏儀鍍膜機檢漏

目前市場上常見的金黃色、鈷銅色、黑色等鉆頭、銑、模具等，這些器具都是經過鍍膜技術加工后的涂層工具。經過涂層處理后的硬質合金刀片可以延具壽命并且滿足一些特殊的應用，刀具上的顏色不同也就說明涂鍍不同的涂層。

鍍膜機檢漏原因：鍍膜機需要在高真空環境下工作，真空度的好壞直接影響鍍膜的品質。有時候鍍膜機的真空度抽不下來或者真空度不好，可能是接頭松動或者有焊縫出現虛焊。傳統的檢漏方法需要鍍膜機停機，充氮氣，再在懷疑有漏的地方涂上肥皂泡，整個過程耗時費力容易誤判，對于細微的泄漏無法檢測。

鍍膜機檢漏方法：采用真空法檢漏，鍍膜機不需要停機，直接在真空泵的旁路利用波紋管接入檢漏儀，在懷疑有漏的地方噴氦氣，即可完成檢漏。

氦質譜檢漏儀調氦峰步驟

調氦峰在更換燈絲后及每天開始檢漏前檢查氦質譜檢漏儀靈敏度達不到要求時進行。

1、調氦峰方法：

開漏孔開關，單方向(從75~165V或從165~75V)調加速電壓“V”，使氦質譜檢漏儀放大器輸出表指示值出現一個Zda值，然后關漏孔開關，如表頭指示值變小，說明氦質譜檢漏儀接收到氦信號，即找到氦峰;如表頭指示值不變，說明不是氦峰，則繼續調“V”，直到找到氦峰(出現氦的“V”一般在85~150V之間)。

2、調氦峰分辨不好：

①氦和重離子分辨差。

②氦和輕離子分辨差。

3、調氦峰信號小：

①燈絲沒正對電離盒上的電子入口。

②燈絲離電離盒太遠。

③分辨不好。

④燈絲質量差(受油蒸汽污染或本身發射能力低)。