檢漏儀設備價格合理「博為光電」

氦質譜檢漏儀的結構

氦質譜檢漏儀的型號較多，但基本結構大同小異。它主要由質譜室、真空系統及電氣部分組成。

（1）質譜室

不同類型的氦質譜檢漏儀的質譜室結構大同小異，都是由離子源、分析器和收集器三部分組成，它們放在一個抽成高真空的質譜室外殼中

1）離子源

離子源的作用是使氣體分子電離，形成一束具有一定能量的離子。它由燈絲（陰極）、離化室及離子加速極組成。

燈絲在真空中通電加熱后發射電子，在離化室與燈絲之間的電場的作用下，電子加速穿過離化室頂部狹縫進入離化室，在離化室中與氣體分子發生多次碰撞后損失能量，打到分子電離形成正離子，正離子在離化室與加速極之間的電原U（即離子加速電壓）作用下，相繼穿過離化室正面的矩形狹縫和加速極的矩形狹縫，由于加速電場對離子做的功轉變為離子的動能，便形成具有一定能量的離子束。由于離子是由中性氣體分子失去Z個帶負電荷e的電子而形成的，所以離子電荷為正的Ze。由于各種氣體的離子均受同一電場的加速，當它們的電荷量相等時，它們的能量相等，但由于質荷比不同，故運動速度也就不同。

正壓法氦質譜檢漏

采用正壓法檢漏時，需對被檢產品內部密封室充入高于一個大氣壓力的氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通孔漏孔進入被檢外表面的周圍大氣環境中，再采用吸的方式檢測被檢產品周圍大氣環境中的氦氣濃度增量，從而實現被檢產品泄漏測量。按照收集氦氣方式的不同，又可以將正壓法分為正壓吸法和正壓累積法。其中正壓吸法采用檢漏儀吸對被檢產品外表面進行掃描探查，可以實現漏孔的；正壓累積法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，采用檢漏儀吸測量一定時間段前后的氦罩內氦氣濃度變化量，實現被檢產品總漏率的測量。正壓法的優點是不需要輔助的真空系統，可以，實現任何工作壓力下的檢測。正壓法的缺點是檢測靈敏度較低，檢測結果不確定度大，受測量環境條件影響大。正壓法主要應用于大容積高壓密閉容器產品的檢漏，如高壓氦氣瓶、艙門檢漏儀等。

氦質譜檢漏儀的工作原理

近年來由于電子工業的發展，空間探索活動的增加，檢漏技術得到了快速發展，它的重要標志是將以氦為示蹤氣體的氦質譜檢漏儀已快速地進入了各個適用的領域。氦質譜檢漏儀同其它檢方法相比，除檢漏方法不同之外，以它的檢測靈敏度高、速度快，可進行定性、定量、的檢測特別是選擇無破壞性、無毒，無危險的隋性氣體氦為示蹤氣體，使它成為今天檢漏儀器當中的。

在許多科學領域和制造業中，氦質譜檢漏儀已成為控制和監督產品質量的裝備。尤其近幾年來，電工電子產品的監督檢驗部門和生產廠家，制冷、汽車、航空、航天等行業強化“以質量求生存”的意識，他們在將氦質譜檢漏儀用于生產線和科研應用的同時，不斷探索其在本行業的應用開發并積累了很多經驗。