真空鍍膜系統公司信息推薦【艾明坷】

CT系列鍍膜機

CT(Custamued workstation)系列鍍膜機系我司非標定制產品，根據您的要求單獨設計，滿足您的特殊需要。

特點：1、按需開發，量身定制。

2、整機采用柜式結構，密封性能好，防塵防水，安全。

3、磁控、熱蒸發多種鍍膜方式可選

4、可集成手套箱系統

5、可集成多種自動化應用

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蒸發鍍膜

一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來。厚度均勻性主要取決于：

1、基片材料與靶材的晶格匹配程度

2、基片表面溫度

3、蒸發功率，速率

4. 真空度

5. 鍍膜時間，厚度大小

組分均勻性：蒸發鍍膜組分均勻性不是很容易保證，具體可以調控的因素同上，但是由于原理所限，對于非單一組分鍍膜，蒸發鍍膜的組分均勻性不好。

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真空鍍膜設備真空泵的選擇

真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。

真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。

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