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發布時間:2020-11-04 13:22  
無塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。防靜電垂簾:四周圍用防靜電垂簾(或鋼化玻璃),防靜電效果好、透明度高、網格清晰、柔韌度好、不變形、不易老化。
無塵室內防止微粒子污染的基本原則:
不發生
在控制大污染源--人在無塵室內的微粒子發塵量的同時,也應控制第二大污染源—制造機臺的發塵量。因物品在移動時,所產生的摩擦及接觸剝離會造成發塵,而物品在移動時也會有微粒子的發生。故為了控制發塵量達到小限度應采取以下對策:
減少接觸剝離發塵的動作形態;
采用磨耗發塵小的材質;
采用發塵小的潤滑油;
機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。
在電子元件制品的制造過程中,微粒子污染對成品率有重大影響,故應在過程中嚴格控制微粒子的數量,遵守“不攜入、不發生、不儲備、除去”四項基本原則以防止微粒子污染。
無塵室內防止微粒子污染基本原則:
排除/除去
在無法避免大量微粒子發生的機臺中,為了不讓無塵室內產生微粒子,因此直接做對外排氣的動作,即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下:由于導入同量的外氣是必要的,但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。潔凈室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件,容易洗滌,底則采用塑膠底,布質部分則采用與潔凈衣相同材質即可,鞋子穿著時潔凈衣腳跟部分應完全塞入緊密包著。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時,不僅僅是向無塵室外排氣,負離子檢測儀而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內之對策。