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發布時間:2020-07-23 04:34  





靜電式凈化
工作原理:采用高壓靜電吸附除塵工作原理。靜電式是采用高壓靜電吸附除塵的工作原理。靜電場中的陰極線在高壓靜電的作用下,產生電暈放電,電暈層中產生大量的負離子,負離子在靜電場的作用下,不斷地向陽極運動。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發生的摻混,而且還有全室范圍內的大的回流、旋渦所發生的摻混。當空氣中粉塵通過電場時,粉塵受到負離子的碰撞帶上電荷,帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場的作用,向陽極(集塵極)運動,到達陽極后釋放電荷。
缺點:可去除飄塵(不能去除有毒氣體),效能比機械式低、慢,而且易產生臭氧,此機型被美國市場評為差凈化器。
化學式甲醛清除劑
工作原理:是采用化學物質和甲醛進行化學反應,達到清除甲醛的目的1、化學反應類:與甲醛發生化學反應生成二氧化碳和水,如氨水等;2、生物類:由能與甲醛反應的生物制劑制成,如尿素、大豆蛋白、氨基酸等;對于平行流潔凈室《習慣上稱層流潔凈室,由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標。3、植物類:由植物提取物制成,如蘆薈、茶葉提取物等;4、封閉類:由成膜物質制成,形成一層薄膜阻止甲醛釋放,如幾丁聚糖、液體石蠟等缺點:一,化學反應過后生成的物質很可能帶來二次污染. 實踐過程中常常出現二次檢測超標的現象二是是在不改變化學成分的基礎上吸收甲醛,降低空氣中的甲醛含量,但是這樣的方式治標不治本,甲醛容易再次釋放出來。
復合式(Mixed Type)
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區輕易執行。而每小時換氣次數與房間的體積有關,如吊頂的高低,因此不適合用來表示單向流。
(2)潔凈管道(Clean Tube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。防靜電潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發生,因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價其質量的一個不可忽視的方面。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。