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              發布時間:2020-08-04 10:52  






                凈化車間功能溫度測試,應將潔凈工作區劃分為等面積的柵格,每個分格面積不超過100平方米或與建設方協商確定,每格測點1個以上,每個房間測點至少2個。(1)潔凈隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。測試高度應為工作面高度,距的吊頂、墻面和地面不小于300MM,并應考慮熱源等的影響,測量時間應至少1H,并至少6min測量一次,讀數穩定后做好記錄。凈化車間一般溫度測試的測點,每個溫度控制區或每個房間1個測點,測試點高度宜為工作面高度,測量時間應至少1H,并至少6min測量一次,讀數穩定后做好記錄。


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