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發布時間：2020-08-16 12:19
電池片的制作工藝
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刻蝕工藝
刻蝕目的
將硅片邊緣的帶有的磷去除干凈，避免 PN 結短路造成并聯電阻降低。
刻蝕原理
采用干法刻蝕。采用高頻輝光放電反應， 采用高頻輝光放電反應，使反應氣體激活成活性粒子，如原子或各種游離基，這些活性粒子擴散到硅片邊緣，在那里與硅進行反應，形成揮發性生成物四氟化硅而被去除。
化學公式： CF 4 SIO 2 =SIF 4 CO 2
工藝流程
預抽，主抽，送氣，輝光，抽空，清洗，預抽，主抽 ，充氣。
影響因素
1. 射頻功率
射頻功率過高：等離子體中離子的能量較高會對硅片邊緣造成較大的轟擊損傷，導致邊緣區域的電性能差從而使電池的性能下降。在結區（耗盡層）造成的損傷會使得結區復合增加。
射頻功率太低：會使等離子體不穩定和分布不均勻，從而使某些區域刻蝕過度而某些區域刻蝕不足，導致并聯電阻下降。
2. 時間
刻蝕時間過長：刻蝕時間越長對電池片的正反面造成損傷影響越大，時間長到一定程度損傷不可避免會延伸到正面結區，從而導致損傷區域高復合。
刻蝕時間過短：刻蝕不充分，沒有把邊緣鱗去干凈， PN 結依然有可能短路造成并聯電阻降低。
4. 壓力
壓力越大，氣體含量越少，參與反應的氣體也越多，刻蝕也越充份。
4. 刮膠角度的影響
刮膠角度的調節范圍為45-75 度。實際的刮膠角度與漿料有關，漿料黏度越高，流動性越差，需要刮膠對漿料向下的壓力越大，刮膠角度接就越小。在印刷壓力作用下，刮膠與絲網摩擦。開始一刷時近似直線，刮膠刃口對絲網的壓力很大，隨著印刷次數增加，刃口呈圓弧形，作用于絲網單位面積的壓力明顯減小，刮膠刃口處與絲網的實際角度小于 45 度，易使印刷線條模糊，粘網。在可調范圍內，減小刮膠角度，下墨量增加，濕重加大。刮膠刃口鈍，下墨量多，線寬大。
5. 漿料黏度的影響
印刷時漿料黏度的變化（觸變性）如右圖所示：
漿料的黏度與流動性呈反比，黏度越低，流動性越大，可在一定程度保證印刷的質量。漿料黏度過大，透墨性差，印刷時易產生桔皮、小孔。漿料黏度過小，印刷的圖形易擴大（柵線膨脹），產生氣泡、毛邊。
6. 紗厚、膜厚的影響
一般情況下，絲網目數越低，線徑越粗，印刷后的漿料層越高，因此絲網目數較高時，印刷后漿料層就低一些。對于同目數的絲網，紗厚越厚，透墨量越少。在一定范圍內，感光膠膜越厚，下墨量越大，印刷的柵線越高。但膜厚增大，易造成感光膠脫落。
7. 印刷臺面的影響
印刷臺面的水平度：印刷時電池片被吸附于印刷臺面，若臺面不平，電池片在負壓下易裂。一般電池片水平度應小于 0.02mm 。印刷臺面與網版的平行度：決定了印刷漿料的一致性。一般二者平行度應小于 0.04mm 。印刷臺的重復定位精度：太陽能電池片印刷臺的重復定位精度需達到 0.01mm 。
太陽電池片標準
5 、 檢測方法
5.1 設計和結構
5.1.1 基體材料
電池的基體材料應按相關詳細規范的要求及檢測方法進行檢測。
5.1.2 電極
5.1.2.1 電池電極的完整性、電極圖形位移的檢驗應使用分辨力優于 0.01mm 的標準尺測量。
5.1.2.2 在照度不小于 800Lux 的白色光源下，目測電極是否變色。
5.1.2.3 電池電極的導電性按 GB/T17473.3 進行。
5.1.2.4 電池電極的可焊性按 GB/T17473.7 進行。
5.1.3 背面鋁膜
5.1.3.1 背面鋁膜與基體材料的匹配性檢測
通過檢測電池的彎曲變形，驗證背面鋁膜材料的熱膨脹系數與基體材料的匹配性。適用表面平整度優于 0.01mm 平臺，電池背面朝下水平放置，用分辨力優于 0.01mm 的量具進行檢驗。
5.1.3.2 背面鋁膜與基體材料的附著強度測驗
如圖 2 所示放置樣品，在滿足 EVA 充分交聯的條件下壓層，取出后立即撕下四氟布，待冷卻到室溫后，用刀割斷 EVA 和鋁膜，撕去 EVA 條，觀察有無鋁膜脫落。
5.1.3.3 背面鋁膜外觀檢驗
背面鋁膜的凸起高度應使用分辨力優于 0.01mm 的帶標尺的光學顯微鏡測量，圖形缺陷采用目測。圖形位移采用分辨力優于 0.02mm 的卡尺測量。
5.1.3.4 背面鋁膜的導電性檢測背面鋁膜的導電性按GB/T17473.3 進行。
5.1.4 減反射膜附著強度檢測
減反射膜附著強度的測試采用膠帶試驗測定粘合性的方法，膠帶附著強度不小于 44N/mm 。具體按 ASTM3359 進行，減反射膜不脫落。
