北京離子氮化爐電話「在線咨詢」

湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），專業制造輝光離子滲氮爐的高新技術企業；是集研發、生產、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術服務。

離子滲氮是在真空室內進行的，工件接高壓直流電源的負極，真空鐘單接正極。56MHZ)輝光放電離子體中形成非對稱放電，面積小的那個電容耦合陰極有可能形成并建立陰極靶表面的負偏壓，并能產生濺射。將真空室的真空度抽到66.67Pa后，充人少量氮氣或氫氣、氮氣的混合氣體。當電壓調整到400~800V時，氮即電離分解成氮離子、氫離子和電子，并在工件表面產生輝光放電現象。正離子受電場作用加速轟擊工件表面，使工件升溫到滲氮溫度。氮離子在鋼件表面獲得電子，還原成氮原子而滲人鋼件表面并向內部擴散，形成滲氮層。

輝光離子滲氮的特點有：離子轟擊有凈化表面作用，自動去除鈍化膜，不銹鋼、耐熱鋼材料無需預先去除鈍化膜，可使不銹鋼、耐熱鋼工件直接滲氮。化合物層結構、滲層厚度和組織可以控制。處理溫度范圍較寬，即使在350℃以下也能獲得一定厚度的滲氮層。

濺射靶起輝放電后，當電源的輸出脈沖的重復頻率足夠高時，由于真空腔體內的導電離子還沒有完全被中和完畢，第二個(以后)重復脈沖的復輝電壓與濺射靶的工作電壓接近或相同。處理紡織品和碳纖維等材料時不會出現擊穿和燃燒并且處理溫度接近室溫。當電源輸出脈沖的重復頻率很低(例如幾百HZ以下)或滅弧時間過長(大于100ms以上)，濺射靶起輝放電后，由于真空腔體內的導電離子已基本被中和掉，第二個(以后)重復脈沖的復輝電壓恢復至較高數值，與點火起輝時的高電壓接近或相同。??

?選用正弦波中頻靶電源，由于波形的原因，靶面產生打弧的幾率更低并優于雙極性矩形波中頻靶電源。輝光放電時，在放電管兩極電場的作用下，電子和正離子分別向陽極、陰極運動，并堆積在兩極附近形成空間電荷區。更適合于對薄膜表面和膜層質量要求較高的濺射工藝。??一般來說，射頻輝光放電與直流及中頻交流脈沖輝光放電相比，可以在低一個數量級的氣體壓強狀態下進行(例如，1.0×1-2Pa)。??