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發布時間:2020-07-26 05:33  





潔凈室中的溫濕度控制
潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。亂流式(TurbulentFlow)空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板亂流式回風。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產的濕度范圍為35—45%。
賽達凈化堅持秉承以科技為先導、以市場為導向的科學管理理念,憑借規范化管理及專業的技術力量在食品、藥品、化妝品、微電子等諸多工業領域設計承建了潔凈SC廠房、GMP廠房、無菌室、實驗室及相關配套產品。我們的宗旨:專業!誠信!高效!
噪聲控制
潔凈室噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準,目的在于保障操作正常進行,滿足必要的談話聯系及安全舒適的工作環境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標是:
煩惱的效應由于噪聲,使人感到不安寧而產生煩惱情緒,一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧,比較吵鬧和極吵鬧7個煩惱等級。凡反應水平屬于很吵鬧和極吵鬧者,即為高煩惱,高煩惱人數在總人數中的百分比即為高煩惱率。
對工作效率的影響這主要看三方面的反應水平,這三個方面是:集中精神,動作準確性,工作速度。
潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高的潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。四、導電砂漿層:銅網布設完畢,將調好的導電料、石英砂混合均勻后,批刮在銅網層上。
特性:
1、固化后的表面硬度高,耐磨損,不起塵;
2、使地面能抵受大的沖擊荷載;
3、與基層混泥土整體粘接,不起鼓,不脫落;
4、堅硬密實的表面可以較大限度的抵抗油脂,特種液壓油和多種工業用化學試劑的侵蝕滲透;
5、日常清潔方便簡單,節省物料,降低費用。
適用范圍:適用于大部分工業廠房、倉庫、停車場、貨倉式商場等,尤其是有車輛行走的區域。