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手套箱故障分析

一、工作氣壓力過低

1. 檢查工作氣體是否充足；

2. 減壓表是否損壞。

二、循環自動停止

1. 箱體壓力過高會造成手套箱自動停止循環，檢查是否有工作氣持續補進去；

2. 箱體壓力過低造成手套箱循環自動停止循環，檢查過渡艙是否關嚴；檢查其他有可能沒有關嚴造成跟真空泵直通；

3. 檢驗壓力傳感器是否損壞。

4. 檢查氣源壓力是否在0.4-0.6MPa

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厭氧手套箱的組成分為四大部分

厭氧手套箱共分為：厭氧室、傳輸艙、裸手袖套操作孔、氣路及電路節制系統四大部門。

1、厭氧室

內腔機械強制對流與內腔正壓，實現恒溫、控濕、除氧、生物脫毒四方面狀態不變均一，而且快速恢復，操作培養同室進行。

2、傳輸艙：

采用緊湊式筒狀設計，實現單人單手輕松轉移樣品。

3、裸手袖套操作孔：

無需進行抽真空/充氮置換過程，雙手可直進直出內腔厭氧。

4、節制系統：

及時狀態自檢報警功能，確保設備正常運行。

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真空熱蒸發鍍膜工藝

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機薄膜和金屬電極，薄膜的質量關系到器件質量和壽命。在有機真空腔室中設有多個放置有機材料的蒸發舟，加熱蒸發舟蒸鍍有機 材料；在金屬真空腔室中設有多個放置金屬電極的蒸發舟，金屬蒸發舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作，電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函數的活潑金屬。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉樣品托架上，其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案，并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。關掉夾雜氣體閥3，并打開閥5，使夾雜氣體經由流量計，調整流量計，流量為每分鐘10ml擺布。

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