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真空泵的發展

隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每小時上萬立方米。隨著真空技術在工業和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足工業和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。

真空技術中的清潔處理

真空技術中的清潔處理一般指的是真空裝置的結構材料、填裝材料和真空零部件的清潔處理。

在各類真空工藝生產中，例如電真空工藝、真空鍍膜工藝、真空焊接工藝等，都十分重視真空衛生問題。在電真空工藝中，要求裝配到高真空環境的零件，事先都必須小心地進行清洗處理，否則各種污染物可成為大量氣體和蒸氣的來源，會大大延長真空器件的排氣時間，不易獲得高真空。

去除或減少污染物將有利于獲得良好真空，增加連接強度和氣密性，提高產品的壽命和可靠性。

真空泵選型方法

選擇真空機組：

(1) 當使用一種泵不能滿足抽氣及真空要求時，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足工藝要求。

(2) 有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓力低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。經組合使用的真空泵，我們稱之為真空泵機組，它能使真空系統得到較好的真空度及排氣量。我們應正確地選擇組合的真空泵，由于不同的真空泵對抽除的氣體要求有不同的要求，例如：在一般情況下羅茨－旋片機組不適用于含有較多可凝性氣體的系統。

真空泵防返油裝置原理

為了能在停泵時防止真空泵油返到被抽容器，內置停泵防返油裝置就十分重要。

真空泵防返油閥原理：可靠的進氣口防返油裝置，雙重保護，不返油，保證了真空系統安全。

保護一：停泵時隔離閥關閉真空系統;

保護二：停泵時關閉油路并向泵腔充氣。

真空泵運行期間，控制活塞在油壓作用下頂著彈簧保持密封。防倒吸閥的閥盤由于自重保持在較低位置(閥門開啟)。泵停機后，油壓下降，彈簧將控制活塞向上頂。這樣就在油箱與防倒吸閥的活塞之間形成了一個通路。以上為真空泵防返油閥原理的介紹，對比用彈簧來控制防返閥的真空泵，防返油效果更好，故障率較低，維修更加簡單。