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發布時間：2020-12-01 08:05
所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。另一方面欲達到無塵室潔凈度之穩定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發生渦流作用，此時要實現高潔凈度事實上很困難。 無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。5m/s之速度，氣流則較均一，（21世紀80、90年代）一般無塵室，其風速均取在0。
發菌量工作人員產生的污染
1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換，人類每分鐘脫落約1000片皮膚（平均大小為30*60*3微米）
2）頭發：人類的頭發（直徑約為50~100微米）一直在脫落。
3）口水：包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
4）日常衣物：微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學品。
5）人類靜止和坐立每分鐘將產生10000個大于0.3微米的微粒。
6）人類在頭部和軀干做動作時每分鐘將產生1000000個大于0.3微米的微粒。
7）人類以0.9m/s的速度行走時每分鐘將產生5000000個大于0.3微米的微粒。
潔凈室（無塵室）吸塵器的主要組成：
大扒頭：當清掃地面面積較大時，使用大扒頭可有效快速的提高工作效率。
小扒頭：清掃面積相對較小時，小扒頭可方便快捷的掃除工作臺底部的灰塵和顆粒。
圓毛刷：工作范圍主要集中在工作臺臺面，清楚工作臺面細微的小顆粒
伸縮桿：增大清掃范圍領域。
軟管：機器正常工作時，吸收的小顆粒，灰塵，雜物，經過吸口有軟管傳遞到過濾系統。
集塵袋：潔凈室吸塵器的過濾系統，也是為重要的環節，收集人眼能分辨的小顆粒，對保護馬達和過濾器有重要作用。
電源開關：控制吸塵器的啟動和關閉。
過濾器：過濾器是吸塵器的第四大過濾系統，也是后一個環節，過濾器能過濾0.012um的小顆粒，過濾之后的空氣達到100級以上。
