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發布時間:2020-10-29 08:17  
無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。 單流向型無塵室,很多都是設計成垂直層流,因此風速均勻度非常重要,只有均勻的垂直層流,才能有效排除微粒污染。頭罩材質為無塵紙(或無纖紙)制成,帽子材質則與潔凈衣同,二者在穿戴使用時,除了只露出眼睛或臉表面部分外,其他部分均須包覆,在頭部部分連接上衣處也必須完全蓋住,不能留有空隙,頭發亦不能露出來。非單流向型無塵室,由于微粒控制的觀念是稀釋,不是立即排除,一般而言其換氣量遠比風速重要,因此多只需要測量風量。
影響無塵室的氣流因素很多,如制程設備、人員、無塵室組裝材、照明器具等,同時對于生產設備上方氣流的分流點,亦應列入考慮因素。一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點,應設于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業人員工作時,氣流可從制程區內部流向作業區,而將微塵帶走;若分流點配置在制程區前方,將成為不當的氣流分流,此時大部分的氣流將流至制程區之后,作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。5m/s之速度,氣流則較均一,(21世紀80、90年代)一般無塵室,其風速均取在0。
(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時,其綜合經濟性一般往往可取。
(2)潔凈度要求嚴的潔凈室,末級過濾器滿布率100%時,對大的系統采用FFU,當前還是不經濟的;對小系統有意義作具體比較。
(3)對潔凈度要求不甚嚴的潔凈室,末級過濾器滿布率≤40%時對大系統綜合經濟性往往相差不多,但對IC工廠而言FFU系統的靈活性是重要的,因此當前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時,采用FFU系統已經普遍。
在潔凈室中,人是決定微粒污染物產生的重要因素。潔凈室內工作的人員都應當充分了解個人衛生習慣對潔凈室潔凈程度的影響有多大,這才是很重要的。
蘇州卓宇泰為您介紹潔凈室工作人員應遵循的規程,有關服裝和個人用品方面的要求,供讀者參考。至于珠寶首飾,工作人員可以戴結婚和訂婚戒指,但不要戴有尖角或者邊沿鋒利的戒指,因為它們可能會刺穿手套或者衣服。如果一定要戴這種戒指,就需要在戴手套和穿潔凈服之前用帶子把它們纏起來。建議不要佩戴懸垂式耳環、項鏈、胸針和其他凸出來的或者懸掛的飾品,即便它們一般都是藏在衣服里面,不要佩戴這些飾物。無塵室內的氣流是左右無塵室性能的重要因素,一般無塵室的氣流速度是選0。因為這些東西可能會干擾潔凈室或者實驗室的正常活動。