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              發(fā)布時(shí)間:2021-09-07 07:57  






              凈化工程

              在一定空間范圍內(nèi),將空氣中的微粒子、有害空氣、xi菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。無塵室對(duì)室內(nèi)環(huán)境對(duì)生產(chǎn)過程的影響如下:(1)對(duì)生產(chǎn)過程產(chǎn)生重要影響室內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境是制約工業(yè)生產(chǎn),特別是高科技生產(chǎn)能否進(jìn)行的關(guān)鍵因素之一。凈化工程所特別設(shè)計(jì)的房間,不論外在空氣條件如何變化,室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。

              亂流潔凈室的主要特點(diǎn)是從來流到出流(從送風(fēng)口到回風(fēng)口)之間氣流的流通截面是變化的,潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以,送風(fēng)口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角,曲率半徑很小,氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動(dòng),將會(huì)彼此撞擊,將有回流、旋渦產(chǎn)生??窜囬g是什么行業(yè)、什么產(chǎn)品,有無法熱設(shè)備,發(fā)熱設(shè)備的排風(fēng)量是多大。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實(shí)質(zhì)是:突變流;非均勻流。



              凈化工程——潔凈室中的溫濕度控制

              潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。

              具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。廠房凈化工程裝修材料常用的有EPS彩鋼夾芯板、巖棉夾芯彩鋼板、紙蜂窩夾芯板、機(jī)制板夾芯板、手工企口巖棉板、凈化鋁材。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。



              潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范:潔凈廠房內(nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)的確定,應(yīng)符合下列要求:

              一、潔凈室內(nèi)有多種工序時(shí),應(yīng)根據(jù)各工序的不同要求,采用不同的空氣潔凈度等級(jí)。

              二、在滿足人生產(chǎn)工藝要求的前提下,潔凈室的氣流組級(jí)別,宜采用局部工作區(qū)空氣凈化和全 室空氣凈化相結(jié)合的形式。

              1、層流潔凈室和亂流潔凈室以及運(yùn)行班次和使用時(shí)間不同的潔凈室,其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)均宜分開設(shè)置。P#iyQ9yYu5s_A

              2、潔凈室內(nèi)的計(jì)算溫、溫度、應(yīng)符合下列規(guī)定:

              (1)滿足生產(chǎn)工藝要求

              (2)生產(chǎn)工藝無溫、濕度要求時(shí),潔凈室溫度為20~26度,溫度70度。



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