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發布時間:2020-08-12 12:24  





脈沖激光沉積介紹
脈沖激光沉積也被稱為脈沖激光燒蝕(pulsed laser ablation,PLA),是一種利用激光對物體進行轟擊,然后將轟擊出來的物質沉淀在不同的襯底上,得到沉淀或者薄膜的一種手段。
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脈沖激光沉積的優點
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1. 易獲得期望化學計量比的多組分薄膜,即具有良好的保成分性;
2. 沉積速率高,試驗周期短,襯底溫度要求低,制備的薄膜均勻;
3. 工藝參數任意調節,對靶材的種類沒有限制;
4. 發展潛力巨大,具有極大的兼容性;
5. 便于清潔處理,可以制備多種薄膜材料。
脈沖激光沉積簡介
沈陽鵬程真空技術有限責任公司——專業脈沖激光沉積供應商,我們為您帶來以下信息。
【設備主要用途】
PLD450A型脈沖激光沉積設備采用PLD脈沖激光沉積技術,用于制備高溫超導薄膜、半導體膜、鐵電薄膜、硬質薄膜以及微電子和光電子用多元氧化物薄膜及異質結,也可用于制備氮、碳、硅化合物及各種有機—無機復合材料薄膜及金剛石薄膜等。
【設備優點】
設備全程采用一鍵式操作抽氣,關機,程序自動化定時操作。避免了繁瑣的角閥,插板閥人工開啟。
【設備主要組成】
設備由沉積腔室(單室球形或圓筒形)、樣品加熱轉臺、激光入射轉靶、激光窗、電源控制系統、激光束掃描系統、計算機控制轉靶的旋轉、脈沖準分子激光器等組成