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              發(fā)布時(shí)間:2020-12-21 19:17  






              電子束鍍膜機(jī)介紹

              * 帶旋轉(zhuǎn)的傾斜沉積

              * 行星式基片夾具

              * 基片RF/DC偏壓

              * 基片清洗的離子源以及離子輔助蒸鍍

              * 附加物理沉積源(熱蒸鍍,磁控濺射)

              * 用于反應(yīng)蒸鍍的MFC

              * 不同的泵組選擇,可升級分子泵為冷泵,前級泵為干泵

              * 進(jìn)樣室和自動(dòng)上下片/可支持單片和25片片夾

              以上就是關(guān)于電子束的相關(guān)內(nèi)容介紹,如有需求,歡迎撥打圖片上的熱線電話!



              雙槍電子束鍍膜機(jī)介紹

              電子槍蒸發(fā)是到目前為止應(yīng)用較多的一種蒸發(fā)方式,它可以蒸發(fā)任何一種鍍膜材料,它的工作方式是:將鍍膜材料放在坩堝里面,將蒸發(fā)源制作成燈絲形狀,采用一專門的控制柜,對燈絲加一強(qiáng)電流,高電壓,由于燈絲的材料是鎢,所以它會發(fā)熱,然后會發(fā)射電子,再采用一定的磁場將其聚集成一定形狀,并牽引到坩堝上,這樣就形成了一股電子束,由于電子束溫度非常高,可以熔化任何鍍膜藥材,當(dāng)鍍膜藥材被電子束熔化后(有些材料是直接升華),藥材的分子(原子或者離子)在真空中成直線運(yùn)動(dòng),然后遇到基板,就凝結(jié)下來,經(jīng)過這種方式生長,形成薄膜!電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的用途電子束蒸發(fā)沉積鍍膜設(shè)備,具有有機(jī)材料沉積和金屬材料沉積成膜功能。

              常用的有將電子束的偏轉(zhuǎn)角制作成270度,、或者運(yùn)行軌跡為e型的e行電子槍或者電子束偏轉(zhuǎn)角180度,運(yùn)行軌跡為c型的c型電子槍兩種。

              期望大家在選購電子束時(shí)多一份細(xì)心,少一份浮躁,不要錯(cuò)過細(xì)節(jié)疑問。想要了解更多電子束的相關(guān)資訊,歡迎撥打圖片上的熱線電話!!!



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