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              發布時間:2020-10-29 05:01  

                   復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質,ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區輕易執行。無塵車間地址的選擇應符合有利生產、方便生活、節省投資和經營費用的原則。


                  無塵室的潔凈度往往受到氣流的影響,換言之,即人、機器隔間、建筑結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。無塵室系利用HEPA、ULPA過濾空氣,其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點,應設于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業人員工作時,氣流可從制程區內部流向作業區,而將微塵帶走。然而無塵室內除了人以外,尚有機器等之發塵源,這些發生的塵埃一旦擴散,即無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。


                  無塵潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計建成的無塵潔凈房間。

                  無塵潔凈室的原理。潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設備,其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。垂直層流式方向要保持均一氣流必須:(a)吹出面的風速不可有速度上的差異。然而潔凈室內除了人以外,尚有機器等之發塵源,這些發生的塵埃一旦擴散,即無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。


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