<em id="b06jl"></em>
      <tfoot id="b06jl"></tfoot>
      <tt id="b06jl"></tt>

        1. <style id="b06jl"></style>

              狠狠干奇米,国产igao,亚卅AV,污污内射在线观看一区二区少妇,丝袜美腿亚洲综合,日日撸日日干,91色鬼,夜夜国自一区
              您好,歡迎來到易龍商務網!
              全國咨詢熱線:18780049644

              江蘇感應耦合等離子體刻蝕機供應商來電咨詢

              【廣告】

              發布時間:2020-07-28 08:17  







              感應耦合等離子體刻蝕機的結構四

              真空系統真空系統有兩套,分別用于預真空室和刻蝕腔體。預真空室由機械泵單獨抽真空,只有在預真空室真空度達到設定值時,才能打開隔離門,進行傳送片。刻蝕腔體的真空由機械泵和分子泵共同提供,刻蝕腔體反應生成的氣體也由真空系統排空。

              想了解更多關于感應耦合等離子體刻蝕的相關資訊,請持續關注本公司。








              感應耦合等離子體刻蝕機的原理

              感應耦合等離子體刻蝕法(Inductively Coupled Plasma Etch,簡稱ICPE)是化學過程和物理過程共同作用的結果。它的基本原理是在真空低氣壓下,ICP 射頻電源產生的射頻輸出到環形耦合線圈,以一定比例的混合刻蝕氣體經耦合輝光放電,產生高密度的等離子體,在下電極的RF 射頻作用下,這些等離子體對基片表面進行轟擊,基片圖形區域的半導體材料的化學鍵被打斷,與刻蝕氣體生成揮發性物質,以氣體形式脫離基片,從真空管路被抽走。

              如果需要進行刻蝕,和蝕刻后,除污,清除浮渣,表面處理,等離子體聚合,等離子體灰化,或任何其他的蝕刻應用,我們能夠制造客戶完全信任的等離子處理系統,以滿足客戶的需要。我們既有常規的等離子體蝕刻系統,也有反應性離子蝕刻系統,我們可以制造系列的產品,也可以為客戶定制特殊的系統。我們可以提供快速/高品質的蝕刻,減輕等離子傷害,并提供的均勻性。

              等離子體處理可應用于所有的基材,甚至復雜的幾何構形都可以進行等離子體活化、等離子體清洗,等離子體鍍膜也毫無問題。等離子體處理時的熱負荷及機械負荷都很低,因此,低壓等離子體也能處理敏感性材料。

              想要了解更多創世威納的相關信息,歡迎撥打圖片上的熱線電話!








              等離子刻蝕工藝

              等離子體刻蝕分為兩個過程:首先,等離子體中產生化學活性組分;其次,這些活性組分與固體材料發生反應,形成揮發性化合物,從表面擴散排走。例如,CF4離解產生的F,與S反應生成SiF4氣體,結果是在含Si材料的表面形成了微觀銑削結構。等離子體刻蝕是一個通用術語,包括離子刻蝕、濺射刻蝕以及等離子體灰化等過程。

              基底和工藝參數決定了表面改性的類型,基底溫度、處理時間和材料擴散特性決定了改性深度。等離子體僅能在表面刻蝕幾個微米的深度,改性后的表面特性發生了改變,但大部分材料的特性仍能得以保持。這項技術還可以用于表面清洗、固話、粗化、改變親水性及粘結性等,同樣也可以使電子顯微鏡下觀察的樣品變薄以及應用于半導體集成電路的制造過程中。在化學濺射中會發生反應并產生揮發性產物。常用的氣體包括Ar、He、O2、H2、H2O、CO2、Cl2、F2和有機蒸氣等。與存在化學反應的等離子體濺射相比,惰性離子濺射更像是一個物理過程。

              想要了解更多感應耦合等離子體刻蝕的相關內容,請及時關注創世威納網站。








              行業推薦
              主站蜘蛛池模板: 人妻无码中文字幕免费视频蜜桃| 无码一区二区| 96人妻| 偷拍精品一区二区三区| 香蕉久久一区二区不卡无毒影院| 99久久人妻精品免费二区| 亚洲欧美综合| 人妻中文系列| 屯昌县| 亚洲国产制服丝袜| 麻豆精品久久久久久久99蜜桃| 成人片黄网站色大片免费毛片| 亚洲自拍电影| 亚洲男人皇宫| 国精品91人妻无码一区二区三区| 日日噜噜夜夜狠狠久久蜜桃| 乱60一70归性欧老妇| 99久久久无码国产精品秋霞网| 亚洲天堂人妻| 99在线免费观看| 国产xxxxxx| 精品国产自线午夜福利| 蜜臀av性久久久久蜜臀aⅴ麻豆 | 大伊香蕉在线精品视频75| 国产女人和拘做受视频免费| 仙桃市| 天堂中文8资源在线8| 人妻少妇av中文字幕乱码| 色欲人妻无码| 丁香久久婷婷| 伊人av网| 在线无码免费看黄网站| 中文字幕乱码无码人妻系列蜜桃| 欧产日产国产精品精品| 国产女人18毛片水真多| 国产又色又爽又刺激在线观看| 日韩?欧美?国产| 视频一区二区不中文字幕| 香蕉免费一区二区三区| 国精品无码一区二区三区左线| 色欲狠狠躁天天躁无码中文字幕|