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超精密加工的精度比傳統的精密加工提高了一個以上的數量級。到20世紀80年代，加工尺寸精度可達10納米(1×10-8米)，表面粗糙度達1納米。超精密加工對工件材質、加工設備、工具、測量和環境等條件都有特殊的要求，需要綜合應用精密機械、精密測量、精密伺服系統、計算機控制以及其他先進技術。工件材質必須極為細致均勻，并經適當處理以消除內部殘余應力,保證高度的尺寸穩定性,防止加工后發生變形。

什么是精密機械零件加工，它其實是機械加工的一種，但是比較精密，對生產機械及流程要求比較高。隨著工業化發展，精密機械加工分類越來越多，方向越來越細，越來越專業化。

精密機械零件的后期維護技巧

精密機械零件基本上是相關設備的關鍵性組成部分,對內在的使用質量與外在的美觀都要求較高,這就需要在零件出爐后進行包裝時采用獨立密封包裝的方式,同時還需要用或者酒精進行擦拭(戴手套進行作業)和吹干,用棉花進行隔離。這樣就能保障零部件不受汗液、空氣等成分的侵蝕,保障其一直處于出廠狀態,提高其使用的時間。

精密機械零件加工的主要工藝

①精車和精鏜：飛行器大多數精密的輕合金(鋁或鎂合金等)零件多采用這種方法加工。一般用天然單晶金剛石刀具,刀刃圓弧半徑小于0.1微米。在車床上加工可獲得1微米的精度和平均高度差小于0.2微米的表面不平度,坐標精度可達±2微米。

②精銑：用于加工形狀復雜的鋁或鈹合金結構件。依靠機床的導軌和主軸的精度來獲得較高的相互位置精度。使用經仔細研磨的金剛石刀頭進行高速銑切可獲得鏡面。

精密零件加工。工藝系統受力變形產生的誤差。

一是工件剛度.工藝系統中如果工件剛度相對于機床、刀具、夾具來說比較低,在切削力的作用下,工件由于剛度不足而引起的變形對加工精度的影響就比較大。

二是刀具剛度。外圓車刀在加工表面法線方向上的剛度很大,其變形可以忽略不計.鏜直徑較小的內孔,刀桿剛度很差,刀桿受力變形對孔加工精度就有很大影響。

三是機床部件剛度。機床部件由許多零件組成,機床部件剛度迄今尚無合適的簡易計算方法,目前主要還是用實驗方法來機床部件剛度。