江蘇實(shí)驗(yàn)室氣體流量計(jì)分類(lèi)推薦「厚禮博」

流量控制器優(yōu)點(diǎn)

熱式質(zhì)量流量器可測(cè)量低流速(氣體0.02~2m/s)微小流量;浸入式熱式質(zhì)量流量計(jì)可測(cè)量低~中偏高流速(氣體2~60m/s)，插入式熱式質(zhì)量流量計(jì)更適合于大管徑。

熱式質(zhì)量流量計(jì)無(wú)活動(dòng)部件，無(wú)分流管的熱分布式儀表無(wú)阻流件，壓力損失很小;帶分流管的熱分布式儀表和浸入性?xún)x表，雖在測(cè)量管道中置有阻流件，但壓力損失也不大。

熱式質(zhì)量流量計(jì)使用性能相對(duì)可靠。與推導(dǎo)式質(zhì)量流量?jī)x表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計(jì)算單元等，僅有流量傳感器，組成簡(jiǎn)單，出現(xiàn)故障概率小。

熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專(zhuān)門(mén)標(biāo)定，直接就用空氣標(biāo)定的儀表，實(shí)驗(yàn)證明差別僅2%左右;用于Ar、He等單原子氣體則乘系數(shù)1.4即可;用于其他氣體可用比熱容換算，但偏差可能稍大些。

氣體的比熱容會(huì)隨著壓力溫度而變，但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數(shù)。

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什么是流量控制器

質(zhì)量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶(hù)可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫(xiě)為MFC）用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。用戶(hù)使用MFC時(shí),無(wú)論用戶(hù)工作的反應(yīng)室是真空還是高壓,應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi),并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。

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流量控制器

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來(lái)表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。若采用恒定溫差法，即保持兩點(diǎn)溫差不變，則通過(guò)測(cè)量加熱的功率也可以求出質(zhì)量流量。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

怎樣選擇流量顯示單位？

我們的流量顯示儀一般提供三種流量顯示單位，即百分比﹑SCCM﹑SLM。出廠前根據(jù)用戶(hù)的要求設(shè)定。按百分比顯示的方式，即是將 MFM / MFC 的流量測(cè)量值按其占滿量程的百分比來(lái)顯示，例如，規(guī)格為50SCCM的MFM/MFC，當(dāng)顯示值為80%時(shí)，實(shí)際的流量為40SCCM。熱式質(zhì)量流量計(jì)無(wú)活動(dòng)部件，無(wú)分流管的熱分布式儀表無(wú)阻流件，壓力損失很小。對(duì)任何一種規(guī)格的MFM/MFC，滿量程值都顯示為100%。這種方式通用性好，可配不同量程的MFM/MFC，但不直觀，有的用戶(hù)不習(xí)慣。

按 SCCM或 SLM顯示，出廠時(shí)對(duì)流量顯示的范圍與相應(yīng)的MFM/MFC的量程進(jìn)行匹配，使用時(shí)顯示值即是流量值，很直觀，符合習(xí)慣，為多數(shù)用戶(hù)所采用。 匹配好后，原則上也能接其它量程的MFM/MFC使用，只是顯示值需要修正。