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發布時間:2021-03-05 13:28  







但是在使用石墨制品加工件時,為避免設備結構脫落,也需要注意一些問題。通常情況下,如坩堝等一類的石墨制品可以直接受熱,但在加熱后不能立即冷卻,將其取下后也不要放在冷的金屬桌面上,避免石墨制品加工件由于急劇冷卻降溫而發生破損。此外,在使用石墨制品時一定要留意設備的完好性,看是否有明顯的裂痕存在,且在使用后要定期進行檢查,若長期不使用還應進行一定的清潔工作,確保石墨制品加工件在使用的過程中不會因為表面殘渣而造成損壞。此外,應以正確的操作方法使用,避免錯誤的方法給石墨制品造成損壞。將新石墨舟及應用超出三年的舊石墨舟飽和狀態后開展PECVD表層的鍍膜,片間勻稱性差別如圖所示7所顯示。由圖7得知,新石墨舟表面平面度好,石墨舟片導電率一致,塑料薄膜分子結構能夠勻稱地沉積在硅片表面,片間勻稱性更好。
新石墨舟飽和狀態后在沉積時仍有一部分等離子技術在石墨舟上面沉積,運作頻次低于三十次時,伴隨著運作頻次的提升,石墨舟上面沉積的等離子技術降低,片間勻稱性越佳。

假如說中國生產石墨舟的生產廠家哪個技術水平較強,那么就是非石墨莫屬了,石墨生產的PECVD石墨舟有下列特性:
1采用了清除"彩片"的生產技術性,長期性加工工藝生產中不造成彩片";
2采用法國西格內進口高純度石墨原材料制做,殘渣成分低,抗壓強度高;
3、瓷器拼裝件采用99.9瓷器,耐腐蝕特性強,不容易崩裂
4,采用了精密機械加工機器設備,聘用了專業技術人員,確保了每一個零配件的精密度;
5能徹底配對CT、捷佳偉創、天雄、賽瑞達、七星華創等生產廠家的火爐。