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發(fā)布時間:2021-10-28 05:50  

金屬蝕刻加工速率和側(cè)蝕量在蝕刻加工中兩個關(guān)鍵同時也是較為重要的參數(shù)。于材料表面的鈍化等因素有些部位的金屬蝕刻會有遲后效應(yīng)特別是對不銹鋼的蝕刻這種現(xiàn)象更為明顯。影響蝕刻速度的另一個重要因素就是公差速度越快對公差的精度控制就越困難。比如當(dāng)一個要求公差為士0.00m的工件,在設(shè)計(jì)蝕刻工藝時需要確定其蝕刻速度,當(dāng)然公差一定是和深度相對應(yīng)的,蝕刻深度越大公差也越大,反之則越小。
蝕刻深度的均勻性主要受4個方面的影響:材料、蝕刻溶液、蝕刻過程的物理參數(shù)和蝕刻時間。綜上所述,可以知道影響確定蝕刻速度的因素主要有蝕刻深度要求及公差要求。對于蝕刻深度大的工件可以設(shè)計(jì)成高蝕刻速度的工藝方案當(dāng)對公差要求高時可采用分次蝕刻的方法進(jìn)行,即先采用高速度的蝕刻方法,當(dāng)接近設(shè)計(jì)要求深度時采用低蝕刻速度的方法來保證公差。對于蝕刻深度淺、公差要求嚴(yán)的工件則應(yīng)采用蝕刻速度較慢的工藝方法。