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干式真空泵

深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發、生產和銷售于一體的民營高科技企業。主營產品：真空設備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統，非標真空設備，真空標準件以及真空設備的維護保養。真空蒸鍍在真空環境中，將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。

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干式真空泵主要有下列幾種形式:

雙圓裂片式

雙圓裂片式設計和目前liu行和廣泛應用的羅茨泵非常相似。事實上，一些早期的干泵設計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設計使得氣體通路相當復雜，并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時，為了達到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然，這種設計由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。虛漏主要是由于材料放氣、解吸、凝結氣體的再蒸發等原因引起的氣體壓力升高的現象，主要通過長時間的抽空將發出的氣體抽出系統外便可以正常使用和生產。

三葉圓裂片式

三葉圓裂片式設計和雙圓裂片式設計的原理完全相同，只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設計有著相同的優點和缺點。為了進一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達，但這也會導致扭矩減小，重新啟動的能力-下降。同雙圓裂片式設計一樣，三葉圓裂片式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有售后辦事處。

組合式(羅茨 爪)

組合式(羅茨 爪)設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設計完全相同。也有些廠家將其后一級改為星型設計，這樣可以在旋轉一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設計可以將其分為三份。同樣，在很多工藝中，組合式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。這種單級設計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單，這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。

外部壓縮型螺桿式

在外部壓縮型螺桿式設計中，使用一對等距螺桿。這使得內部壓縮減到xiao，同時使得氣體通路短也簡單。這樣，氣體在泵體內停留的時間也短。雖然這種設計由于減少了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較高，但在很多復雜的半導體工藝中表現出極高的穩定性。這種單級設計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單，這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮氣。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。

內部壓縮型螺桿式

除了使用一對非等距螺桿以外，內部壓縮型螺桿式設計和外部壓縮型螺桿式設計的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內部產生壓縮。這種設計由于產生內部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當的水平。但在很多工藝中，這種內部壓縮同多級泵一樣，極易造成氣體在泵體內的物理化學變化而產生固化或液化。為達到最jia配置，選擇真空系統時，應考慮下述各點：首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。

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真空泵

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水環泵和其它類型的機械真空泵相比有如下優點結構簡單，制造精度要求不高，容易加工。結構緊湊，泵的轉數較高，一般可與電動機直聯，無須減速裝置。故用小的結構尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。由于泵腔內沒有金屬磨擦表面，無須對泵內進行潤滑，而且磨損很小。轉動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。吸氣均勻，工作平穩可靠，操作簡單，維修方便。水環泵也有其缺點：效率低，一般在30%左右，較好的可達50%。真空度低，這不僅是因為受到結構上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液，極限壓強只能達到2000~4000Pa。用油作工作液，可達130Pa。例如在雙級渦旋無油真空泵中，有兩個方向對應的固定渦旋盤，一個位于兩個渦旋盤之間的轉動渦旋盤。

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真空設備檢漏

深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發、生產和銷售于一體的民營高科技企業。主營產品：真空設備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統，非標真空設備，真空標準件以及真空設備的維護保養。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。

聽音法

氣體從小孔中噴出時，會發出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側的壓力、壓差和氣體的種類等。根據氣體漏出時發出的聲音判斷有無泄漏。

該方法的靈敏度很大程度上受環境的影響。若工廠噪音較大，則小的聲音就不易聽清。使用聽診qi，某種程度上可以消除周圍噪音的影響，聽清泄漏聲音，但有時與泄漏無關的聲音（例如電機的聲音）也會混雜進來，從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音，可用話筒和放大器將聲音放大。但此時其它聲音也同時放大，多數情況下較難收到好的效果。在檢測壓力為0.3MPa，周圍非常安靜的條件下，可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。氣鎮閥油封機械真空泵的壓縮室上開一小孔，并裝上調節閥，當打開閥并調節入氣量，轉子轉到某一位置，空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不致凝結而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮閥。

這種方法既簡單、經濟。使用聽診qi，在某種程度上可以判斷出泄漏點。如單憑耳朵聽，往往因聲波的反射或吸收，很難確定泄漏點，即發聲地點。由于檢測環境條件不同，所得到的結果可能偏差很大。因此，這種方法的穩定性和可靠性很差。應與其它檢測法并用。

真空設備氦檢漏

深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發、生產和銷售于一體的民營高科技企業。主營產品：真空設備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統，非標真空設備，真空標準件以及真空設備的維護保養。真空設備制造產業發展出現的問題中，許多情況不容樂觀，如產業結構不合理、產業集中于勞動力密集型產品。

氦分子在質譜檢漏儀器高真空的環境中擴散的速度很高，用氦氣作示漏氣體其本底噪聲低，分子質量及粘滯系數小，因而極易通過漏孔并易擴散；這種泵分為往復式及旋片式兩種：（1）往復式真空泵：是利用泵腔內活塞做往復式運動，將氣體吸入、壓縮并排出。另外，氦系惰性氣體是無破壞性、無du、無危險，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氦質譜檢漏儀（調整到僅對氦起反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器某一部位有漏孔，則氦質譜檢漏儀立即有所反應，從而可知漏孔所在位置及檢測漏氣量大小。

泄漏和密封是相對而言的，氦質譜檢漏儀檢測被檢容器的泄漏程度的量化一般用漏率來表示，其計算方法原理如下：

漏率的定義：Q1=Δp×VΔt［1］。

式中：Δp為壓強的變化量；V為容器的體積；Δt為時間的變化量。

因此漏率可簡單理解為：單位時間內，單位體積容器，壓強的變化。