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發布時間:2020-11-11 13:17  
國內半導體制造和光伏電池上游加工,包括:去頭尾、截斷、開方等的加工,大部分仍然采用金剛石帶鋸設備。加工表面粗糙,浪費材料,金剛石帶鋸價格也不菲。
實際上,應該使用金剛石線鋸機切割加工,能得到更高的質量。
元素環形金剛石線切割機的主要性能:
1. 切割晶體尺寸: 300*300 mm
2. 切割線線速度: 小于60 m/s
3. 工作臺進給速度: 500 mm/s
4. 晶片表面粗糙度: Ra≤ 0.2μm

金剛石線切割機
金剛石線徑的選擇:
金剛石線徑通常根據材料的特性選擇,一般硬度高、強度大、耐磨損、耐腐蝕的材料不易被切割,因此應選用線徑較粗、金剛石顆粒大的金剛石線,以此來保證金剛石線切割機對材料的切割能力和切割速度。當切割的材料易于切割時不需要很大的摩擦力便能將材料切削,因此一般選用小線徑小顆粒的金剛石線。超硬材料行業除了重視金剛石線鋸的研究之外,更要大力投入切割設備的研究,因為兩者是密不可分的。一些時候實驗者會根據個人實驗目的或被切割材料的特性對切割線徑進行具體要求,如要求切割下來的樣品表面平整度Ra在一定范圍內或要求盡可能節約樣品,這時所用金剛石線應按規定選擇適當的線徑。
高速切割設備
切割行程的設置:
切割行程=樣品的長度 5mm。為保證將樣品切斷,通常會在樣品的實際高度之上增加5㎜。使用壽命長不必涂油,不易粘微塵,維護,保養方便簡單,使用壽命長。當要求對樣品進行開槽時,實際切割行程應與開槽深度相同,為保證停止切割時所開槽口深度達到要求,當切割行程達到設定行程時應暫停切割,但主軸帶動金剛石切割線繼續運行一段時間,從而使樣品未達到切割深度的位置繼續被切割,直到樣品被切割部位每一點都達到所要求的切割深度。
